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F435Ⅱ对半导体工厂的电压暂降监测与剖析使用

当代的电力供应已经变得很可靠,长时间的电力中断非常少见,但随着设备变得更加敏感,电压暂降问题越来越受关注。现在工业界面临的最大电能质量问题是电压暂降事件,据美国电科院统计,电压暂降占据了超过92%的电

今世的电力供应现已变得很牢靠,长时刻的电力中止十分罕见,但随着设备变得愈加灵敏,电压暂降问题越来越受重视。现在工业界面对的最大电能质量问题是电压暂降事情,据美国电科院核算,电压暂降占有了超越92%的电能质量事情,工厂无法事前得到行将到来的电压暂降的正告。雷击、短路毛病和大电机发动都是引起电压暂降的主要原因,其他如劲风、下雪、事故、修建施工、挖掘机挖断电缆、动物触线、线路切换、配电装置毛病等也会导致产生电压暂降。因而不管电力公司花多少价值来改进电网,可是仍是无法防止电压暂降或暂升等电力质量问题的产生,给电力用户带来不良影响。

现代化的半导体出产设备对电力质量问题十分灵敏,相关于传统工业来说,半导体,LCD制作具有超微细加工及高洁净度出产环境要求的特色,除需求有极端纯洁并且安稳的供水、供气等等之外,对供电质量的要求也十分之高,仅仅是瞬间的电压暂降都能够使产线停机并导致巨大的经济丢失。

停机的概念在传统产业中仅仅出产暂时的中止,而对半导体,LCD出产来说便是一次灾祸。因为半导体,LCD出产设备的停时机形成很多直接丢失和直接丢失。

这些丢失包含:

· 直接丢失:半导体产品硅片损坏和糟蹋、设备寿数缩短乃至损坏、整理产线的人工成本等。

· 直接的丢失:重新发动出产线需求的时刻、下降产质量量、延误交货时刻等。

每一次停机所形成的经济丢失在半导体职业不是以千元万元核算而是以几十万、几百万乃至上千万核算。所以电压暂降已上升为影响半导体制作厂最为重要的电能质量问题,加强对电压暂降等电压事情的监测与剖析就具有十分重要的现实意义。

实际上在半导体职业,有专门针对工艺设备电压暂降容限的规范SEMI F47。SEMI F47规范是由半导体工业协会(SEMI)拟定的,它对半导体设备能接受的电压暂降等级的通用免疫能力作出了界说。该规范要求此类设备在遭受电压暂降时在赤色曲线上方能够正常作业。半导体设备要求按照此规范来进行规划。

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因为电压暂降的界说是指在工频下,电压的有效值短时刻内下降,然后再很短的时刻内康复正常。典型的电压暂降值为额外电压的90%~1%,继续时刻为0.5个周期到几秒。电压暂降的两个根本目标是压降幅值和继续时刻,电压暂降事情的测算办法(半周期改写RMS)和偶然性使得一般仪器无法精确丈量记载,因而一款高精度、高采样率、能够长时刻监测的记载剖析仪器显得尤为重要。

福禄克公司最新推出的F435Ⅱ高档电能质量剖析仪供给了最新的丈量技能来协助监测电压暂降事情以查明毛病原因,它具有以下特色:

· 电压暂降的测算契合IEC 61000-4-30规范的要求

· 电压丈量精确度到达0.1%(IEC 61000-4-30 A级规范)

· 采样率高达25kHz(500个采样点/周期)

· 电压暂降记载内容包含:事情产生的时刻、继续的时刻、电压幅值

· 记载方式:事情有效值趋势图和波形图

· 内存高达8G,支撑长时刻记载

· 电池运转时刻超越8h

· 具有职业界最高的安全等级600V CAT IV/1000V CAT III

以下便是运用F435Ⅱ在上海某半导体工厂针对产线产生的电压暂降事情的测验记载:

客户运用F435Ⅱ关于单相出产设备进行了长达1周的电压暂降事情捕捉(运用“暂降与暂升”功用),期间有产生设备无故停机,随即赶到测验点检查F435Ⅱ记载的数据,发现了记载了1次事情(EVENTS)。

右下角“EVENTS”一栏中呈现了数字1,阐明产生了1次事情。

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按下对应的F4按钮,呈现了右图所显现的事情列表,从中能够看出在09:29:56:214产生了一次DIP事情(电压暂降事情),并排明晰最低电压幅值(164.6V)和继续时刻(270ms)

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首要检查波形,按下对应的F1按钮(WAVE EVENTS),能够看到事情产生时的电压波形。

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按下上下键能够缩放波形,按下左右键能够移动黑色光标线,一边能够调查波形数据,一边能够移动记载的波形,从而检查电压暂降事情结束时的波形。

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经过按向右键,能够检查到电压暂降事情结束时的波形。

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然后回来事情列表,按下F2按钮(RMS EVENTS)检查电压暂降事情有效值趋势图。

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别的能够经过Powerlog3.X的剖析软件把事情数据下载到电脑,并运用Powerlog3.X软件来详细调查事情波形和RMS趋势图,关于剖析事情原因和制做陈述十分有协助。

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经过数据剖析发现,此次电压暂降事情继续时刻为270ms,电压幅值降到额外电压的71.6%,导致了出产设备的停机,对照SEMI F47曲线(继续时刻和电压百分比),证明此设备不契合SEMI F47规范。

综上所述,F435Ⅱ高档电能质量剖析仪十分合适监测半导体工厂的电压暂降/暂升事情。

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