导言
跟着面市时刻和测验本钱的压力增大，需求持续仔细检查 东西利用率和测验工程师的出产率。进步主动化水平是一种改进资源分配惯例办法。从手动勘探器的单管芯测验到半主动探 测器的单晶圆测验的这一进程自然会通向主动勘探器的全晶匣 检测。在曩昔，运用精细、灵敏的试验室东西但不购买BEOL生 产测验仪的条件下履行此类测验十分困难。这类测验一般包含 很多定制代码和专用测验台并且需求训练有素的工程师运转设备。吉时利有这种方案。经过结合吉时利的主动特性剖析套件 （ACS）软件和4200-SCS半导体特性剖析体系，您将取得两者的长处——试验室级特性剖析和出产主动化。
图1. 4200-SCS运转ACS和操控开关矩阵 的比如
业界抢先的试验室特性剖析和建模
4200-SCS是用于各种特性剖析和建模使命的一款半导体实 验室的重要东西。典型运用包含规范直流IV和CV测验测验结构 以及BJT、FET和二极管等器材。高达1A和200V多通道源才能以及低至100阿安（atto-amps）和1μV的丈量分辨率使4200-SCS 十分适于各种器材和技能。机载PC和集成软件（吉时利交互式 测验环境，或KTEI）十分适于履行交互式测验的或用半主动勘探台完成轻量级主动化的器材与建模工程师。KTEI测验包含自 动移动至晶圆上的其它管芯或器材，以及简略测验循环、数据存储和参数提取。 新的脉冲硬件和软件明显拓宽了4200-SCS的测验才能。
标 准脉冲测验包含电荷泵（用于测验栅氧化层完整性）和脉冲IV 测验（用于确认器材功用性，没有直流导致的测验产品如自发 热劣化或电荷抓获）。4200-SCS为测验工程师供给仪器级的脉冲硬件拜访，并能切合各种运用包的需求，将适宜的硬件装备 与互联相结合并针对详细运用定制软件以供给交钥匙方案。当 前的运用包包含：4200-PIV-A包，针对最前沿的CMOS FET特性 剖析（特别是高κ栅极介电层以及绝缘体上硅等热敏技能）； 4200-PIV-Q包，针对需求双通道和静态作业点脉冲的小型RF和 功率晶体管；和4200-FLASH包，用于测验起浮栅极非易失存储 器材和技能。
根据晶圆的主动化软件
ACS适用于从器材级至晶匣级 的主动化，包含对大部分规范主动 勘探器的操控。运用直观的用户流 程（例如晶圆映射界说和各种测验模块与测验形式）树立和履行全自 动测验并完成晶匣级出产才能是一 项十分简略的使命（见图2）。功 能强壮的报表东西能办理数据收集 和演示，防止让操作人员淹没在多 晶圆上多管芯的彻底参数特性剖析所发生的海量数据中。
图2. 设置和运用ACS软件的典型运用流程事例
ACS软件能以晶匣级主动化和半主动形式（在一片晶圆上移动） 操控全主动勘探器，这关于测验 开发或调试都十分有用。从4200-SCS的嵌入式PC（根据Windows® XP操作体系）上运转时，ACS还能操控4200-SCS的GPIB端口上的其它仪器和硬件并将丈量成果数据回来至ACS以便提取参数和管 理数据。在研制试验室里履行CV测验并操控脉冲仪、开关矩阵 和探针器很常见，并且在ACS环境进行设置和操作也十分直观便利。
便利的形式创建和测验设置（图3）能够尽量削减人的干涉 并缩短设置时刻。保存“方案”和其它测验方案能有用进步测 试需求并满意加快从头定位测验台的需求。
图3. ACS软件的测验设置功用举例
