容栅传感器丈量原理

容栅传感器的作业原理是依据平板电容理论而来。一般容栅传感器的结构包括动栅板和定栅板。动栅板包括发射极和接纳极，定栅板包括反射极。反射极别离和发射极、接纳极构成平板电容器。经过在发射极上施加n相鼓励信号，反射极将此信号反射到接纳极，跟着动栅板的移动，接纳极的感应信号的起伏改变不大，而相位改变与位移量成必定函数联系：
θ(x)=arctan[(1-2x／w)／(1+√2)] (1)
其间，x为位移量，w为小发射极宽度。当位移发生一个w宽度改变时，接纳极发生360°／n的相差。设鼓励信号的周期为T，则有：
T=N·β (2)
式中：β为最小计时单位，N为常数。而每周期代表位移量为L(本系统为0．508 mm)，在每周期中β代表一个小相位，则一个周期被分解为N个小相位，每个小相位代表位移量即最小分辩率：
△l=L／N (3)
本系统N为512，即最小分辩率约为0．001 mm。关于最大丈量速度Vmax，由于在一个周期内最多能分辩N个相位，所以有：
Vmax=L／T (4)