沟通阻抗技能是最常用的电容丈量技能[1]。它最适合于一般的低功率门电路,也适用于大多数测验结构和大多数探针。其优势在于所需的设备相对廉价,大多数电子实验室都可以直接找到。可是,它也有一些缺陷,例如它的校对办法不如射频丈量中运用的校对办法那样精确。别的一个显着的缺陷是要求沟通阻抗的测验频率有必要挨近DUT的作业频率,不然有必要内插一些丈量成果。
虽然准静态C-V是最一切丈量办法中最廉价的,其间只需求运用一对SMU,可是它适用的技能规模是有限的,例如低漏流[2]高k资料、有机器材或显示器范畴。不幸的是,在准静态C-V丈量中,丈量误差[3]很简单损坏丈量成果,特别关于具有少数漏流器材的特征剖析是不精确的。
射频C-V丈量是超薄栅、漏电电介质特征剖析的最佳挑选。它还适用于射频器材的建模。射频探针[4]的纠正办法很简单了解和完成。射频办法的不足之处在于它需求非常贵重的设备、测验结构和射频探针;此外,它只适用于特征阻抗为50欧姆左右的传输线。假如器材阻抗并不是非常挨近50欧姆,这种办法就不精确了。关于某些使用和用户而言,射频丈量的装备和剖析进程或许太杂乱了;在这些情况下,经典的沟通阻抗丈量办法或许更适合。