虽然许多C-V丈量技能自身相对简略，可是以一种可以保证丈量质量的办法完成C-V测验仪与探针台的衔接却不是那么简略。现在探针台运用的机械手和探针卡多种多样，当咱们企图在一个探针台上一起支撑I-V、C-V和脉冲式或超快I-V丈量时，它们就会带来一些实践的问题。当进行I-V、C-V或超快I-V丈量时，丈量成果的质量与线缆的质量和所选用的探针台装备直接相关。
直流I-V丈量[1]最好选用低噪声同轴线缆和长途勘探线。C-V丈量需求运用具有长途勘探线的同轴线缆，并且线缆长度要操控的十分准确。超快I-V测验需求50欧姆的同轴线缆，可是长途勘探线却给超快I-V测验带来了阻抗失配的问题。射频C-V丈量需求运用特别的射频线缆和“地-信号-地”结构的探针以及校准基座。但不幸的是，这些接线办法与其它办法都不兼容。
图4.American Probe & Technologies的探头装备
经过吉时利[2]试验室中的试验，咱们挑选了American Probe & Technologies公司供给的探头装备（73系列或74系列）（如图4所示），它的优势在于大多数探针台供货商都有供货。这种特制的探头是同轴的，带有一个开氏衔接。其主体和屏蔽层都是浮空的，因而可用作I-V丈量的驱动维护，或许经过跳接完成C-V和超快I-V丈量的短接地途径。这类探针上的接头称为SSMC。有三类线缆可用于完成与这类探针的高质量衔接：SSMC到三轴线缆衔接适用于直流I-V丈量和一般性使用（直接或直接衔接），SSMC到同轴线缆衔接可用于C-V或超快I-V测验[3]（直接衔接），而更特别的SSMC到SMA线缆衔接可以完成最佳的C-V丈量功能，尤其是在较高频率下（直接衔接）。图4给出了进行C-V丈量的双探针装备计划；每个探针衔接了一对同轴线缆，完成长途开氏检测衔接。留意两个探头体之间的跳线很短。这种跳线保证了探针之间具有杰出的接地衔接，这关于高频丈量是很重要的。
