东芝(Toshiba)与SK海力士(SK Hynix)宣告将共同开发下一代半导体制程技能,一起东芝也吊销对SK海力士提出的1.1兆韩元(约9.1亿美元)损害补偿诉讼。两企业决议会集火力争夺半导体工业未来主导权,替代彼此消耗的专利诉讼。
据ET News报道,东芝与SK海力士曾保持很长时刻的协作联系。2007年订立专利授权合约,并自2011年开端共同开发下一代存储器STT-MRAM。 2014年3月因存储器半导体技能外流,东芝向SK海力士提出告知,要求1.1兆韩元规划的民事补偿,两边联系因而决裂。
最终SK海力士以付出2.8亿美元,适当诉讼规划27%的宽和金与东芝达成协议,吊销诉松。SK海力士半导体部分的专利彼此授权合约,与产品供给契约也取得延伸。经过这次的全方位协作宣言,两边总算重修旧好。
SK海力士有关人士表明,与东芝进行全方位的协作,不光提高技能竞争力也取得安稳的订单,一起免除潜在运营不确定性。
SK海力士最近存储器成绩亮眼,对未来新技能的主导权也显得越来越有爱好。现在与东芝共同开发的次世代纳米压印(Nanoimprint Lithography;NIL)技能,是在世界半导体科技蓝图(ITRS)中,被喻为能完成32纳米以下微细制程的新方法。
半导体制程日趋微细化,而NIL正是完成微细图画所必要的次世代制程技能。NIL制程与印章的原理相似,将液态紫外线(UV)感光性树脂涂布在基板之后,以通明模具加压构成图画,再用光源照耀将图画固定。
由于没有运用镜片而选用廉价的UV光源,价格竞争力远胜极紫外光(EUV)曝光设备。与现在需消耗钜额出资的制程技能比较,可望完成更经济的量产方法。而SK海力士与东芝若能成功开发NIL技能,商用化后也可望进一步强化存储器产品的本钱竞争力。