离子束用于各种运用场合,比如,质谱仪和离子注入机等。离子束电流一般十分小(μA),所以需求运用静电计或皮安表来进行丈量。本文介绍了怎么运用6485型皮安表和6487型皮安表/电压源来进行这种丈量作业。在电流灵敏度更高时,能够改用静电计来进行丈量。
丈量方法
假如离子源违背地电位,那么离子搜集电极八成处在地电位。在这种状况下,能够运用简略的真空同轴接头来进行从搜集电极到皮安计的衔接。图4-16示出6485型皮安计从离子搜集电极丈量电流的状况,这时仪器作业在地电位。
但是,假如离子源处在地电位,离子搜集电极有必要违背地电位。6485型皮安计只能违背地电位大约42V,所以有必要运用能够浮地电位达500V的6487型皮安计。图4-17是6487型皮安计浮地丈量离子束的一个比如。
皮安计的高端经过三同轴的真空接头连到离子搜集电极。皮安计的低端由电压源违背地电位。出于安全的考虑,当偏置电压大于42V时,应当运用三同轴的真空接头。6487型皮安计能够浮地高达500V。
假如无法找到三同轴的真空接头,能够在绝缘的BNC衔接处构建金属安全屏蔽(图4-18)。将该金属安全屏蔽接地。
假如对地的浮地电压小于42V,绝缘的BNC接头就不需求安全屏蔽。
完结电路衔接之后,接通偏置电压,在没有离子束电流的状况下进行电流丈量,以验证体系能够正常作业。假如这时的电流比要丈量的电流大得多,体系中一定存在着寄生走漏通路,有必要将其纠正。
咱们常常需求把离子束电流与时刻的函数联系画成曲线。此项作业能够运用皮安计的模拟输出功能来完结或许运用IEEE-488总线或 RS-232接口来收集读数,再用绘图编程软件包(例如ExceLINX)或图表软件将其画成曲线。