规划工程师在开发重型配备的过程中一般需求在不同品种的加速度传感器中做出挑选。例如，在起重机，拖拉机，木材切割机以及建筑工程等重型机械中，规划者需求经过运用加速度传感器来丈量设备作业时的俯仰和翻滚角。
在大都运用中，他们一般会依据传感器的首要特性，比方结构，共振频率、可靠性、稳定性、带宽、功耗以及本钱来作出挑选。
关于电容式和热式MEMS传感器来说，两种技能最大的差异在于其不同的传感技能。
典型的双轴热式MEMS加速度传感器根据单芯片集成技能。传感器和控制电路的芯片被集成在一个气密性封装中。传感器包括一个经过硅刻蚀生成的空腔以及一组置于空腔中加热器和温度丈量单元。
与电容式器材不同，热式传感器经过监测封装腔体内的被加热器团的移动来丈量加速度。在没有加速度的情况下，热气团会在加热器的上方成对称散布。在加速度的效果下，热气团会沿着加速度的方向移动。因为器材不包括可被曲折或许可位移的结构，因而能够供给十分高的器材可靠性。
电容式MEMS加速度传感器的部分下风
电容式MEMS加速度传感器运用可位移的悬臂的结构。关于用于倾角丈量的低加速度器材，其悬臂结构的固有带宽一般大于5kHz，谐振频率在2kHz左右。当轰动的能量过大或许轰动的频率挨近其悬臂结构谐振频率，电容式加速度传感器的输出信号可能会呈现失真或许共振。
在大大都情况下，失真或许共振信号会导致巨大的零点漂移（特别是Z轴），使得传感器无法在高强度轰动环境中正确的复原实在的信号。在高强度轰动环境中的零点漂移是电容式加速度传感器的一个固有的缺陷，一般需求额定的技能将轰动的影响阻隔或许减轻。
