电容薄膜真空计是一种绝压、全压丈量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力改动发作膜片间间隔的改动，即发作了电容的改动，再经过鉴频器把电容改动转化成为电流或电压的改动，组成为输出信号，所以，它的丈量是直接反映了真空压力的改动值，并且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接丈量式的、全压型的真空计。
电容式薄膜真空计原理
依据弹性薄膜在压差效果下发作应变而引起电容改动的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和丈量仪器两部分组成。依据丈量电容的不同办法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是- ：种补偿法，具有较高的丈量精度。现在在计量部分作为低真空副规范真空计的便是选用零位法结构。
图示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。它由电容式薄膜规管、丈量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放人器、相敏检波器和指示仪长等组成。
电容式薄膜现管的中心装者张 金属弹性膜片，在膜片的侧装有一个固定 电板，当膜片两边的压差为零时，固定电极与膜片形成“个静态电容Co，它与电容C1串联后作为丈量电桥的条桥臂， 电容C2、C3和C4与Cs的串联电容组成其它三条桥臂。
金属弹性膜片将薄膜真空规管阻隔成两个室，分别为接波测真空体系的测最室和接高真空体系（pb《10-*Pa）的参阅压力室。在这两个室的连通管道上。设置一个高真空阀门7。丈量时，先将阀门7翻开，用高真空抽气体系将规管内膜片两边的空间抽全参阅压力pbe一起调理丈量电桥电路，使之平衡，即指示仪衣指零。然后，封闭阀门7，丈量室接通被测真空体系。当被测压力P》Pb时，因为规管中的压力差P1-Pb，膜片发作应变引起电容Co改动，破坏了丈量电桥电路的平衡，
pb一 参阅压力
U逐个补偿电压
K一规管常数， 其值K=Co/d，Co和do分别为固定电极与膜片在平衡状态下的静态电容和问距。
当p1》po时，丈量成果便是肯定压力，即
p1=KU？ （13）
电容式薄膜真空计丈量规模为10^1~ 10“Pa，其规管常数K可经过校准得到。
近年来，电容式薄膜真空计取得了重大进展，新式的双电容式薄膜真空计的面世，提高了该类真空计的精度，扩展了丈量规模，使其测最下限可达l0^3Pa。
单侧双电容薄膜真空计具有灵敏度高、气体的介电常数不变、压万读数彻底不受气体成分影响、反响速度快等特色。如将其规管參考室内加置消气剂并抽至≤l0°5Pa，就可丈量zlO”pa的肯定压力。
薄膜真空计缺陷
薄膜真空计也不是没有缺陷的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内旧式的薄膜规简单零漂，需求常常校对，要求高的常常校对。主要是技能陈腐，国内材料科学相对落后形成的，温度稳定性欠好；还有一个量程跨度小，国内的不超越3个数量级。第三是旧式电容规规娇气，简单坏，用过的度知道，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗抢救1\3往往会作废，小量程的2\3会坏
薄膜电容参数相关
电容器的电容量便是表征电容器存储电荷才能的参数，它在数值上等于极板上存储的电荷量Q与极板上所加的电压U之比。
电容上的684用的是数字计数法，这种计数法一般是3位数字，最左面的第一位和中心的一位数字是有用数字，最右边的一位数字是表明倍数，也便是10的多少次方，假如没有标明单位，一般默许是pF。假如是带小数点的数字，一起没有标明单位，则单位是uF。
薄膜电容读法和色环电阻的读法相似，三位数字中前两位是系数，最终一位是10的指数。104便是10乘以10的4次方，等于100000pF，也便是100nF。
