压阻式传感器原理
压阻式传感器piezoresistance type transducer是指运用单晶硅资料的压阻效应和集成电路技能制成的传感器。单晶硅资料在遭到力的作用后，电阻率发生改变，经过丈量电路就可得到正比于力改变的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和能够转变为力的改变的其他物理量（如液位、加速度、分量、应变、流量、真空度）的丈量和操控。
压阻式传感器是依据半导体资料的压阻效应在半导体资料的基片上经分散电阻而制成的器材。其基片可直接作为丈量传感元件，分散电阻在基片内接成电桥方式。当基片遭到外力作用而发生形变时，各电阻值将发生改变，电桥就会发生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片（或称膜片）资料主要为硅片和锗片，硅片为灵敏 资料而制成的硅压阻传感器越来越遭到人们的注重，特别是以丈量压力和速度的固态压阻式传感器运用最为遍及。
压阻式传感器的运用
压阻式传感器广泛地运用于航天、航空、帆海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气候、地质、地震丈量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个要害参数，对静态和动态压力，部分压力和整个压力场的丈量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较抱负的传感器。例如，用于丈量直升飞机机翼的气流压力散布，测验发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的颤动等。在飞机喷气发动机中心压力的丈量中，运用专门规划的硅压力传感器，其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据丈量体系中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺度缩小的风洞模型试验中，压阻式传感器能密布安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。
单个传感器直径仅2.36毫米，固有频率高达300千赫，非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面，压阻式传感器也是抱负的检测工具。已制成分散硅膜薄到10微米，外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能丈量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于丈量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地运用于爆破压力和冲击波的丈量、真空丈量、监测和操控轿车发动机的功能以及比如丈量枪炮膛内压力、发射冲击波等武器方面的丈量。此外，在油井压力丈量、随钻测向和测位地下密封电缆毛病点的检测以及流量和液位丈量等方面都广泛运用压阻式传感器。跟着微电子技能和计算机的进一步开展，压阻式传感器的运用还将迅速开展。
