电阻式传感器丈量电路
以典型的固态压阻式压力传感器为例,硅单晶资料在遭到外力作用发生极微小应变时,其内部原子结构的电子能级状况会发生改变,然后导致其电阻率剧烈改变。用此资料制成的电阻也就呈现极大改变,这种物理效应称为压阻效应。使用压阻效应原理,选用集成工艺技术通过掺杂、分散,沿单晶硅片上的特色晶向,制成应变电阻,构成惠斯登电桥(Wheats tone bridge),使用硅资料的弹性力学特性,在同-片硅资料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转化检测于一体的分散硅传感器。再给传感器匹配一个扩大电路及相关外围部件,使之输出一一个规范信号,就组成了一台完好的变送器。
硅压阻式传感器一般对温度比较灵敏,但随着集成工艺技术的前进,分散硅灵敏膜的四个电阻一致性也得到进一步进步,并且在新一代的传感器中,原始的手艺补偿已被激光调阻、计算机主动修调等技术所代替,传感器的温度系数现已十分小了,工作温度规模也大幅度进步了。
热电阻式传感器丈量电路
热电阻的丈量电路一般选用不平衡电桥来转化,热电阻在工业丈量桥路中的接法常选用两线制(如图2所示)和三线制(如图3所示)两种。选用三线制电桥可消除和减小引线电阻的影响。
2热电阻两线丈量桥路
1—电阻体 2—引出线 3—显现表
3热电阻三线丈量桥路
1—电阻体 2—引出线 3—显现表