依照其用处,传感器可分类为:
压力敏和力敏传感器、方位传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、热敏传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、振荡传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。
以其输出信号为规范可将传感器分为:
模仿传感器–将被丈量的非电学量转化成模仿电信号。
数字传感器–将被丈量的非电学量转化成数字输出信号(包含直接和直接转化)。
膺数字传感器–将被丈量的信号量转化成频率信号或短周期信号的输出(包含直接或直接转化)。
开关传感器–当一个被丈量的信号到达某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。
在外界要素的效果下,一切资料都会作出相应的、具有特征性的反响。它们中的那些对外界效果最灵敏的资料,即那些具有功用特性的资料,被用来制作传感器的灵敏元件。从所运用的资料观念动身可将传感器分红下列几类:
(1)依照其所用资料的类别分
金属、聚合物、陶瓷、混合物
(2)按资料的物理性质分
导体、绝缘体、半导体、磁性资料
(3)按资料的晶体结构分
单晶、多晶、非晶资料
(4)依照其制作工艺分
集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器、陶瓷传感器
集成传感器是用规范的出产硅基半导体集成电路的工艺技术制作的。一般还将用于开始处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是经过沉积在介质衬底(基板)上的,相应灵敏资料的薄膜构成的。运用混合工艺时,相同可将部分电路制作在此基板上。
厚膜传感器是使用相应资料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片一般是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
陶瓷传感器选用规范的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)出产。
补白:完结恰当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多一起特性,在某些方面,能够以为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。
每种工艺技术都有自已的长处和缺乏。因为研讨、开发和出产所需的本钱投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,选用陶瓷和厚膜传感器比较合理。