多晶硅出产污染物收回处理流程图

多晶硅出产污染物收回处理流程图

高纯多晶硅出产，工业上广泛选用三氯氢硅复原法，也称西门子法。三氯化硅在复原炉中出产多晶硅的一起会生成副产品污染物四氯化硅。四氯化硅完全能够收回使用，加氢气能够复原为三氯氢硅，再进一步作为质料加工成纯硅，进入出产循环，提高产率；另一方面，四氯化硅也能够能够制作为白炭黑，用于化工出产，此外，四氯化硅还能够溶于水生成二氧化硅和氯化氢，二氧化硅能够用于制作玻璃，氯化氢能够做工业质料。