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电容式压力传感器的类型及原理解析

电容式压力传感器的类型及原理解析-电容式压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。

电容压力传感器是一种使用电容灵敏元件将被测压力转换成与之成必定联系的电量输出的压力传感器。特点是,低的输入力和侏儒能量,高动态呼应,小的天然效应,环境适应性好。

电容式压力传感器一般选用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感触压力而变形时,薄膜与固定电极之间构成的电容量发生改动,经过丈量电路即可输出与电压成必定联系的电信号。电容式压力传感器归于极距改动型电容式传感器,可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。

电容式压力传感器的类型及原理解析

电容式压力传感器分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。

单电容式压力传感器

它由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压力的效果下变形,然后改动电容器的容量,其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的间隔成反比。另一种型式的固定电极取凹形球面状,膜片为周边固定的张紧平面,膜片可用塑料镀金属层的办法制成。这种型式适于丈量低压,并有较高过载才能。还能够选用带活塞动极膜片制成丈量高压的单电容式压力传感器。这种型式可减小膜片的直接受压面积,以便选用较薄的膜片进步灵敏度。它还与各种补偿和维护部以及扩大电路全体封装在一起,以便进步抗干扰才能。这种传感器适于丈量动态高压和对飞行器进行遥测。单电容式压力传感器还有传声器式(即话筒式)和听诊器式等型式。

差动电容式压力传感器

它的受压膜片电极坐落两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的效果下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,丈量成果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片遭到凹面的维护而不致决裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难(特别是难以确保对称性),并且不能实现对被测气体或液体的阻隔,因而不适宜作业在有腐蚀性或杂质的流体中。
责任编辑;zl

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