一、MEMS传感器的原理
MEMS的全称是微型电子机械体系（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电体系是指可批量制作的，将微型组织、微型传感器、微型执行器以及信号处理和操控电路、直至接口、通讯和电源等于一体的微型器材或体系。
尽管大部分人关于MEMS仍是感到很生疏，可是其实MEMS在咱们出产，乃至日子中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、轿车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分前期和简直一切近期电子产品都使用了MEMS器材。你能够把它理解为使用传统的半导体工艺和资料，用微米技能在芯片上制作微型机械，并将其与对应电路集成为一个全体的技能。所以它是以半导体制作技能为根底发展起来的一种先进的制作技能渠道。
MEMS传感器是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。与传统的传感器比较，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化出产、易于集成和完结智能化的特色。一起，在微米量级的特征尺度使得它能够完结某些传统机械传感器所不能完结的功用。
二、MEMS传感器的分类
MEMS传感器的种类繁复，分类办法也许多。下面是依照作业原理分类如下：
其间每一种MEMS传感器又有许多种细分办法。如加速度计，按检测质量的运动方法区分，有角振荡式和线振荡式加速度计等，种类繁复，常见的MEMS传感器有压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺仪、惯性传感器、MEMS硅麦克风等等; MEMS传感器的种类多到能够以万为单位，且不同MEMS之间参量较多，没有彻底规范的工艺。在不同环境中，在不同环境，MEMS传感器的技能使用也是不同的。
责任编辑；zl
