MEMS压力传感器又称机油压力传感器，在日常日子中也有遍及的运用，那么MEMS压力传感器究竟是怎么进行作业的呢？产品有哪些特色？下面工控小编来给我们介绍一下MEMS压力传感器的作业原理及特色。期望对我们有所协助！
MEMS压力传感器（Micro Electromechanical System，即微电子机械体系）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和操控电路、接口电路、通讯和电源于一体的微型机电体系。
MEMS压力传感器的作业原理
现在的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是选用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电改换丈量电路的，具有较高的丈量精度、较低的功耗和极低的本钱。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力改变，其输出为零，几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器选用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，选用MEMS技能直接将四个高精密半导体应变片刻制在其外表应力最大处，组成惠斯顿丈量电桥，作为力电改换丈量电路，将压力这个物理量直接改换成电量，其丈量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器运用MEMS技能在硅片上制作出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力效果向下位移，改变了上下二根横隔栅的距离，也就改变了板间电容量的巨细，即△压力=△电容量。
MEMS压力传感器的特色
MEMS压力传感器可以用相似集成电路的规划技能和制作工艺，进行高精度、低本钱的大批量出产，从而为消费电子和工业进程操控产品用低价的本钱很多运用MEMS传感器翻开方便之门，使压力操控变得简略、易用和智能化。
传统的机械量压力传感器是根据金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转化输出，因而它不或许如MEMS压力传感器那样，像集成电路那么细小，并且本钱也远远高于MEMS压力传感器。
相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺度更小，最大的不超越一个厘米，相对于传统“机械”制作技能，其性价比大幅度进步。
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