MEMS在航空航天范畴最常见的运用是各种MEMS传感器，它们具有不同的特色，适应在不同的场合。MEMS 技能首要运用在航天技能范畴，是因为航天技能对器材功用密度比的要求非常高，也能够说MEMS技能的首要需求牵引来自于航天范畴。
MEMS技能在航天范畴运用优势：
小的质量和体积，低发射质量。
低功耗——大部分器材处于电静态。
小的热常数——可用较低功率来保持温度。
抗轰动、抗冲击和抗辐射机械设备——如开关能够抗辐射加固，低惯性质量使MEMS可抗轰动/冲击。
高集成度——在一个芯片上集成了多种功用，大大简化了体系的结构。
批量制造低本钱——大批量出产。
MEMS技能在航空航天范畴中的各种运用其实大部分都是以传感器的形位为其服务。在这里咱们从传感器的视点来剖析MEMS技能的运用。
MEMS传感器首要有五种用处：
① 供有关航天器的作业信息，起故障诊断的效果;
② 判别各分体系间作业的协调性，验证规划方案;
③ 供给全体系自检所需信息，给指挥员决议计划供给根据;
④ 供给各分体系、整机内部检测参数，验证规划的正确性。
⑤ 监测飞翔器内外部的环境，为飞翔员航天员供给所需的生存条件，保证正常飞翔参数。
无人飞翔器姿势操控
MEMS微惯性导航体系集微陀螺、微加速度计及其信号处理单元为一体。该体系以硅资料为主，用MEMS加工工艺制造而成，其体积和质量比惯例惯性导航体系至少下降2一3个数量级。选用MEMS技能制造的微型惯性丈量单元（MIMU），没有滚动的部件，在寿数、可靠性、本钱、体积和质量等方面都要大大优于惯例的惯性外表。所出产出来的标准化的、高功能航天器姿势丈量仪器功能更好，价格更廉价，并且在航空航天渠道均能运用。选用MIMU器材可使设备的分量大大减轻。
直升机飞翔状况监控
MEMS加速度传感器加速度传感器在航空航天运用在姿势航向基准体系、飞翔操控体系，包含颤振测验在内的飞翔期间结构测验、健康体系测验、安稳性测验、地上振荡测验（风洞实验）、模态测验、发动机操控体系和制导体系等。
光电吊舱安稳渠道
MEMS微陀螺在无人机光电吊舱、红外安稳渠道、位标器中的运用极为广泛。跟着MEMS工艺技能的进步，高精度硅MEMS微陀螺逐步在代替低精度光纤和石英陀螺仪。
飞翔实验和发动机检测验验
MEMS压力传感器在飞翔中、飞翔实验、发动机检测验验、结构强度实验、风洞实验，以及在设备的制造出产过程中运用非常遍及。压力丈量的特色是：被测压力品种多、触及规模广、测压点多，要求丈量精度高。
通讯天线车和火箭炮支架
MEMS倾角传感器广泛运用于火箭炮固定滚动支架视点丈量，通讯天线车和飞艇等等。运用规模广，要求丈量精度高，差错小，可靠性高。美泰电子自主研制的MTS2000和MTS2001丈量精度到达0.001°，内置温度传感器，体积小适用多种场合，并具有杰出的振荡和冲击特性，已批量运用于雷达天线角对准，火炮炮管初设视点丈量，卫星通讯车姿势检测盒天线视点丈量。
航天航空集今世先进制造技能、信息技能和资料技能于一身对传感器的要求越来越高。MEMS传感器发展方向是多功用化、小型化、智能化、集成化，跟着产品可靠性进一步进步和价格下降，制造技能发展的不断老练和完善，MEMS传感器在航空航天范畴的运用将会在更广泛规模替代传统传感器。
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