在MEMS范畴的技术进步使人们可以极大地缩小这些传感器的尺度，让传感器微型化。因而，除了性价比更高之外，依据MEMS传感器的模块还可以集成越来越多的功用，如自测以及精确的查验程序等方面的功用改善。
为了监测车辆翻滚的这种情况，把陀螺仪输出的传感器信号与低g值加速度传感器的输出信号结合起来是至关重要的。经过处理两个传感器给出的信号，体系的算法确认车的Z轴以及垂直线之间的夹角，以及每一时刻车辆的角速度ωx。因而，车辆翻滚感测算法及时确认精确的时刻点和方位，然后爆开特定的气囊或自动收紧绑在乘员身上的安全带，起到维护效果。
此外，电子安稳程序体系也是MEMS传感器的一个重要使用范畴，它可以在所有的驾驭情况下进步车辆的行进安稳性。经过传感器丈量车辆的偏航率，并把它与其它参数相似转向角和速度逐个进行比较，可以检测过度转向或转向不行这样的行进情况。假如行进过程中需求ESP发挥效果，那么，该体系会自动地别离制动车轮。因而，传感器供给的信号是ESP算法履行的底子根底，是进步行车安稳性的要害。
MEMS偏航传感器一般由容性硅振荡器构成，其周围是若干悬浮的网状资料。当遭到垂直于振荡轴的外部旋转运动的效果时，效果力使振荡面呈现违背，然后导致电容的改变让驾驭员做出精确的操作。
现在，轿车安全体系使用中的偏航传感器的发展趋势是具有高偏移量安稳性、振荡鲁棒性以及全数字信号处理功用。这使之比模仿传感器更为经用。永久性的自动内部毛病检测功用，使毛病辨认以及自动自测功用成为可能，因而，有助于增强可靠性。此外，依据整车体系规划的需求，传感器串因为采用了灵敏的结构，可以在不同的车辆方向上监测偏航率以及加速度，因而，适合于高度动态以及高度精细的体系，如电子安稳程序、翻滚减轻体系以及电子自动操作体系等等。偏航传感器与加速度传感器的结合构成一体化的传感器渠道也是轿车传感器一大发展趋势。
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