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根据MicroHEAT技能具有悬梁式结构的气体传感器阵列介绍

基于MicroHEAT技术具有悬梁式结构的气体传感器阵列介绍-合肥微纳基于自主研发的MicroHEAT技术制造的高可靠HHC1000型微热板芯片,采用悬膜式结构,功耗低,可靠性高,可广泛应用于半导体式气体传感器。芯片同时集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。

物联网、大数据和人工智能促进了传感技能的开展。跟着MEMS和传感技能的开展,图画和声音信号现已可以被传感器收集并转换为数字信号,凭借算法完成图画辨认和语音辨认,为智能设备装上了“眼睛”和“耳朵”。怎么研讨气体传感器,完成气味辨认,为智能设备装上鼻子呢?

根据MicroHEAT技能具有悬梁式结构的气体传感器阵列介绍

2004年,诺贝尔生理学或医学奖获得者Richard Axel和Linda B. Buck在研讨中发现了气味受体和嗅觉体系的安排,为气味辨认奠定了根底。为了完成气味辨认,需求一套理论或许办法把气味分子转化为电信号,从现有的气体传感器品种来看,半导体式传感器的作业原理与人类对气味辨认的方法挨近。尽管还难以把某一种气味分子与电信号对应起来,但半导体传感器有望完成某一类气味分子与电信号的相关。

合肥微纳传感技能有限公司(简称合肥微纳)是一家专心于MEMS传感器研制、出产和出售的国家高新技能企业,由中国科学技能大学校友于2015年11月在合肥兴办,近年来专心于高性能MEMS气体传感器和气味辨认技能的研制。

合肥微纳根据自主研制的MicroHEAT技能制作的高牢靠HHC1000型微热板芯片,选用悬膜式结构,功耗低,牢靠性高,可广泛运用于半导体式气体传感器。芯片一起集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器供给适宜的作业温度,叉指电极用于检测气敏资料的电阻改变。

根据MicroHEAT技能具有悬梁式结构的气体传感器阵列介绍

传统根据陶瓷管或陶瓷片的半导体式气体传感器,存在基线漂移大,一致性较差的现象,一向难以解决。合肥微纳最新研制的HGS1000系列气体传感器选用高牢靠的HHC1000微热板和纳米半导体资料,进步了长时刻稳定性和一致性,为气体检测和气味辨认奠定了根底。该系列传感器选用陶瓷基底和金属盖板封装,尺度仅为3.2 mm × 2.5 mm × 1.1 mm。

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气味辨认技能在智能终端和食物保鲜职业有着非常广泛的运用需求。合肥微纳技能团队长时刻致力于高性能气体检测和气味数字化技能研讨。

以智能手机为代表的智能终端在集成了具有视觉、听觉和触觉功用的传感器后,迫切需求添加具有嗅觉功用的传感器,以获取运用场景中的环境信息,进步用户体会、开展新功用。高性能、低功耗、小尺度、阵列化,是智能终端对该类传感器的技能要求。合肥微纳根据MicroHEAT技能设计并完成了具有悬梁式结构的气体传感器阵列,与现有的MEMS半导体式气体传感器比较,单个传感器接连作业时的功耗约1毫瓦,预热时刻约1毫秒,可在1.0 mm × 1.0 mm的芯片上集成16个气体传感器芯片。

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不管是为了进步气体检测的选择性,仍是完成人工智能气味辨认技能,都需求很多的传感器,合肥微纳根据4 × 4的半导体气体传感器芯片阵列,开始完成了特定场景下的大类气味辨认。

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在食物保鲜方面,以冰箱为例,需求对保存食物的状况进行实时监测,经过感知食物的特征气体来了解其新鲜程度,并与灭菌、消毒和除味等模块进行联动,完成更好的保鲜。合肥微纳根据FreshSense技能研制的食物新鲜度模组是集温、湿、气于一体的传感模组。模组选用了合肥微纳自主研制的MEMS鲜度传感器,对食物蜕变发出出来的特征气体具有较高的活络度,可以对蜕变食物和食物蜕变进程进行感知。

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针对以冰箱为代表的智能家电和冷藏/冷链职业,合肥微纳于2019年推出了鲜度传感器根底版HGM10模组,可以分辩蜕变气味的“有”和“无”,现已在多家冰箱整机中运用。往后还将继续研制,并估计在2020年9月推出HGM11模组,完成对蜕变气味品种的辨认。

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MicroHEAT技能不仅为MEMS气体传感器供给牢靠的加热元件,一起还能用于气体质量流量传感器。合肥微纳于本年8月份推出了HFS2000型气体流量传感器,根据MEMS制作技能,选用陶瓷封装,尺度仅为3.8 mm × 3.8 mm × 1.6 mm,作业电流约50微安,可用作电子烟开关和流量监测。

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合肥微纳为商场供给高性能MEMS微热板芯片、MEMS流量芯片、MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器等产品。公司产品具有小体积、低功耗、高活络和快呼应等特色,在家电、轿车和智能穿戴等范畴,为客户供给全新的运用体会和商业价值。
来历;MEMS

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