微振传感器的分类
相对式
电动式传感器依据电磁感应原理，即当运动的导体在固定的磁场里切开磁力线时，导体两头就感生出电动势，因此使用这一原理而出产的传感器称为电动式传感器。
相对式电动传感器从机械接纳原理来说，是一个位移传感器，因为在机电改换原理中使用的是电磁感应规律，其发生的电动势同被测振荡速度成正比，所以它实际上是一个速度传感器。
电涡流式
电涡流传感器是一种相对式非触摸式传感器，它是经过传感器端部与被测物体之间的间隔改变来丈量物体的振荡位移或幅值的。电涡流传感器具有频率规模宽（0～10 kHZ），线性作业规模大、灵敏度高以及非触摸式丈量等长处，首要使用于静位移的丈量、振荡位移的丈量、旋转机械中监测转轴的振荡丈量。
电感式
依据传感器的相对式机械接纳原理，电感式传感器能把被测的机械振荡参数的改变转化成为电参量信号的改变。因此，电感传感器有二种方式，一是可变空隙，二是可变导磁面积。
电容式
电容式传感器一般分为两种类型。即可变空隙式和可变公共面积式。可变空隙式能够丈量直线振荡的位移。可变面积式能够丈量改变振荡的角位移。
惯性式
惯性式电动传感器由固定部分、可动部分以及支承绷簧部分所组成。为了使传感器作业在位移传感器状况，其可动部分的质量应该满足的大，而支承绷簧的刚度应该满足的小，也便是让传感器具有满足低的固有频率。依据电磁感应规律，感应电动势为：u=Blx&r式中B为磁通密度，l为线圈在磁场内的有用长度， r x&为线圈在磁场中的相对速度。从传感器的结构上来说，惯性式电动传感器是一个位移传感器。但是因为其输出的电信号是由电磁感应发生，依据电磁感应电律，当线圈在磁场中作相对运动时，所感生的电动势与线圈切开磁力线的速度成正比。因此就传感器的输出信号来说，感应电动势是同被测振荡速度成正比的，所以它实际上是一个速度传感器。
压电式
压电式加速度传感器的机械接纳部分是惯性式加速度机械接纳原理，机电部分使用的是压电晶体的正压电效应。其原理是某些晶体（如人工极化陶瓷、压电石英晶体等，不同的压电资料具有不同的压电系数，一般都能够在压电资料功能表中查到。）在必定方向的外力作用下或接受变形时，它的晶面子或极化面上将有电荷发生，这种从机械能（力，变形）到电能（电荷，电场）的改换称为正压电效应。而从电能（电场，电压）到机械能（变形，力）的改换称为逆压电效应。
因此使用晶体的压电效应，能够制成测力传感器，在振荡丈量中，因为压电晶体所受的力是惯性质量块的牵连惯性力，所发生的电荷数与加速度巨细成正比，所以压电式传感器是加速度传感器。
压电式力
在振荡试验中，除了丈量振荡，还常常需求丈量对试件施加的动态激振力。压电式力传感器具有频率规模宽、动态规模大、体积小和重量轻等长处，因此取得广泛使用。压电式力传感器的作业原理是使用压电晶体的压电效应，即压电式力传感器的输出电荷信号与外力成正比。
阻抗头
阻抗头是一种综合性传感器。它集压电式力传感器和压电式加速度传感器于一体，其作用是在力传递点丈量激振力的一起丈量该点的运动呼应。因此阻抗头由两部分组成，一部分是力传感器，另一部分是加速度传感器，它的长处是，确保丈量点的呼应便是激振点的呼应。使用时将小头（测力端）连向结构，大头（丈量加速度）与激振器的施力杆相连。从“力信号输出端”丈量激振力的信号，从“加速度信号输出端”丈量加速度的呼应信号。
留意，阻抗头一般只能接受轻载荷，因此只能够用于轻型的结构、机械部件以及资料试样的丈量。无论是力传感器仍是阻抗头，其信号转化元件都是压电晶体，因此其丈量线路均应是电压放大器或电荷放大器。
电阻应变式
电阻式应变式传感器是将被测的机械振荡量转化成传感元件电阻的改变量。完成这种机电转化的传感元件有多种方式，其间最常见的是电阻应变式的传感器。
电阻应变片的作业原理为：应变片粘贴在某试件上时，试件受力变形，应变片原长改变，然后应变片阻值改变，试验证明，在试件的弹性改变规模内，应变片电阻的相对改变和其长度的相对改变成正比。
激光
激光传感器使用激光技能进行丈量的传感器。它由激光器、激光检测器和丈量电路组成。激光传感器是新式丈量外表，它的长处是能完成无触摸远间隔丈量，速度快，精度高，量程大，抗光、电搅扰能力强等，极适合于工业和试验室的非触摸丈量使用。
