传感器-集成传感
集成传感器
集成传感器集成传感器：是用规范的出产硅基半导体集成电路的工艺技术制作的。一般还将用于开始处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器则是经过沉积在介质衬底(基板)上的，相应灵敏资料的薄膜构成的。运用混合工艺时，相同可将部分电路制作在此基板上。
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厚膜传感器：使用相应资料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片一般是Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。陶瓷传感器选用规范的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)出产。?完结恰当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多一起特性，在某些方面，能够以为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。?每种工艺技术都有自己的长处和缺乏。因为研讨、开发和出产所需的本钱投入较低，以及传感器参数的高稳定性等原因，选用陶瓷和厚膜传感器比较合理
