在半导体制作过程中,合格率影响本钱,因而制作商从晶圆到包装IC多过程进行产品检测,以尽早发现缺点。跟着光刻技能几许标准越来越小,要求检测体系可以检测深度不断添加的深亚微米标准(如,45 nm、32 nm、22 nm……)。极点状况下,缺点十分小,可见光无法检测,检测体系需选用深紫外线波进行照明。 要害一点是要在整体检测时刻缩短的状况下发现约束合格率的缺点。该趋势首要经过添加检测过程来完成,而这就使检测体系的数据通量发挥至关重要的效果;成像体系的速度要更快,分辨率更高,一般数据通量要到达十亿像素级。此外,速度进步将缩短曝光的时刻(以及可利用的光子数),然后要求成像器添加灵敏度,并且不只在可见光。 DUV成像要求反面减薄成像器最大化进步量子功率(QE)。但不管波长状况,相机的功能一旦进步,一切下流的组件功能均需进步,以将相机数据转化为制作商所需的信息。 Teledyne DALSA选用业界最高功能的传感器、相机、图画采集卡、视觉处理器以及成像软件处理这些应战。Teledyne DALSA Falcon2 CMOS相机为面阵扫描检测体系供给数百万分辨率以及高帧率。咱们先进的TDI线扫描机(含定制规划BST、MHz级行频以及数十亿像素级数据通量)具有惊人的灵敏度,在全球最高功能的晶圆检测体系中发挥至关重要的效果。 在下流, Teledyne DALSA图画采集卡和视觉处理器,包括规模广,能对简直一切制作商的相机宣布的很多数据进行处理。Teledyne DALSA’s X64 Xcelera图画采集卡具有顶尖的功能,Anaconda视觉处理器实时进行图片处理,加快检测体系的判别。(end) |
晶体和掩膜质量操控检测
在半导体制造过程中,合格率影响成本,因此制造商从晶圆到包装IC多步骤进行产品检测,以尽早发现缺陷。随着光刻技术几何尺寸越来越小,要求检测系统能够检测深度不断增加的深亚微米尺度(如,45nm、32nm、
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