纳米丈量技能是纳米科学技能的根底学科之一。纳米科学技能的快速开展，不光给纳米丈量技能提出了应战，一起也给纳米丈量技能供给了全新开展的时机。总述了国内外纳米丈量技能开展的现状，要点评论了纳米资料、纳米电子学和纳米生物学等范畴所触及的纳米丈量与功用表征的难题和应战，论说了纳米科技成果给纳米丈量技能带来的开展时机，最终对纳米丈量技能的开展方向做了展望。
微型智能仪器指微电子技能、微机械技能、信息技能等归纳使用于仪器的出产中，然后使仪器成为体积小、功用彻底的智能仪器。它能够完结信号的收集、线性化处理、数字信号处理，操控信号的输出、扩大、与其他仪器的接口、与人的交互等功用。微型智能仪器跟着微电子机械技能的不断开展，其技能不断老练，价格不断下降，因而其使用范畴也将不断扩大。它不光具有传统仪器的功用，并且能在自动化技能、航天、军事、生物技能、医疗范畴起到共同的效果。例如，现在要一起丈量一个患者的几个不同的参量，并进行某些参量的操控，一般患者的体内要插进几个管子，这增加了患者感染的时机，微型智能仪器能一起丈量多参数，并且体积小，可植入人体，使得这些问题得到处理。
1.纳米丈量技能
纳米丈量技能触及传感器技能、探针技能、定位技能、扫描探针显微镜(SPM)技能等。
1.1传感器技能
在现代工业出产尤其是自动化出产过程中，要用各种传感器来监督和操控出产过程中的各个参数，使设备作业在正常状况或最佳状况，并使产品到达最好的质量。因而能够说，没有许多的优秀的传感器，现代化出产也就失去了根底。传感器早已渗透到比如工业出产、国际开发、海洋勘探、环境保护、资源查询、医学确诊、生物工程、乃至文物保护等等极端之广泛的范畴。能够毫不夸大地说，从苍茫的太空，到很多的海洋，以致各种杂乱的工程体系，简直每一个现代化项目，都离不开各式各样的传感器。由此可见，传感器技能在开展经济、推进社会进步方面的重要效果，对错常显着的。国际各国都十分重视这一范畴的开展。信任不久的将来，传感器技能将会呈现一个腾跃，到达与其重要位置相等的新水平。
电容位移传感器选用平行极板之间的电容改变来反映两极板间隔改变，然后到达测微意图。电容传感器灵敏度很高，并可进行非触摸丈量，成为纳米丈量中重要的传感器。
光学位移传感器丈量的根本原理都是迈克尔逊干与仪。干与条纹的宽度为0.5λ，约0.2μm。通过细分到达纳米分辩率。
1.2探针技能
纳米丈量，特别是纳米三维描摹的丈量，常常使用探针技能。探针技能可分为触摸式探针技能和非触摸式探针技能。探针技能直接影响三维描摹丈量的横向分辩率。
触摸式探针技能最为典型的是轮廓仪(如Taylorsurf系列)，一般最大行程为150mm，探针最小直径为0.1μm左右。选用电容或电感传感器检测探针纵向位移，能够得到0.5nm纵向分辩率。横向分辩率受探针尖直径的约束，难以到达纳米级。触摸式探针仪器存在两方面的问题：其一是探针和被测外表的彼此效果问题；其二是传感体系的潜力问题。触摸式探针和被测外表存在0.7μN的效果力，在纳米规范的丈量中，这样的力是丧命的。作为传感部分，光学体系的分辩率取决于光波长和牢靠细分的程度，其极限是0.5nm；LVDT的分辩率很高，可对10pm缓慢改变值具有显着呼应，且分辩率还或许进步；电容传感器的功用相当好，还有很大潜力。
非触摸式扫描探针技能，一般是通过光束生成光探针，然后进行非触摸式三维描摹丈量。光探针技能首要问题是探针光斑的最小值和传感器所能勘探到最小光斑的才干。
综上所述，在扫描探针技能中，笔直分辩率到达纳米不成问题，而横向分辩率的进步是要害。横向分辩率，不管选用触摸式探针技能还对错触摸式探针技能，都较难到达纳米规范，这是由探针自身规范决议的。
1.3 STM/AFM及相关技能
STM:scanning tunneling microscope即扫描地道显微镜。地道扫描显微技能是在1981年有宾尼和罗拉尔发明的，这种设备具有高灵敏度，并且可取得0.01nm的纵向分辩率。这种设备不光能够使用于超高真空里（UHV-STM），并且可使用于大气环境里（大气STM技能）和液体状况下（电解质STM技能）。
AFM全称Atomic Force Microscope,即原子力显微镜，它是继扫描地道显微镜（Scanning Tunneling Microscope）之后发明的一种具有原子级高分辩的新式仪器，能够在大气和液体环境下对各种资料和样品进行纳米区域的物理性质包含描摹进行勘探，或许直接进行纳米操作；现已广泛使用于半导体、纳米功用资料、生物、化工、食物、医药研讨和科研院所各种纳米相关学科的研讨试验等范畴中，成为纳米科学研讨的根本东西。
在纳米范畴中，令人感到振作的是扫描地道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)的呈现。1982年，国际商业机器公司苏黎世试验室开宣布国际上第一台STM，使人类能够直接调查到纳米国际。往后，各种新式扫描探针显微镜，如AFM、激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、扫描近场光学显微镜(SNOM)等不断被开宣布来，大大扩展了被调查的资料规模和使用场所。
以STM/AFM为根底开展的显微镜，可统称为扫描探针显微镜(SPM)。它们大都能观测到纳米规范，以它们为根底，进行恰当的改造，可进行纳米丈量。SPM使用于纳米丈量时，供给了一个直径十分小的非触摸式探针，然后极大地进步了丈量分辩率。
1.4纳米丈量用SPM有必要处理的问题
SPM（Statistical Parametric Mapping）是由UCL（UniversityCollege London）的Wellcome Trust Centre中心的成员及其合作者开发的使用于神经印象的软件。Statistical Parametric Mapping 是用来验证功用印象数据假说的一种能创建和评价的空间的计算办法。这些主意可被软件完结，这个软件便是SPM.SPM软件包用来剖析脑的印象数据序列。这个序列可所以来自同一方针，不同行列或时刻的一系列图画。现在版别可用来剖析fMRI（Functional Magnetic Resonance Imaging,功用磁共振成像），PET（Positron Emission Tomography,正电子发射断层扫描），SPECT,EEG（electroencephalo- graph,脑电图）和MEG（magnetoencephalogram,脑磁图）。
(1)有必要能满意相应科学仪器的技能要求
作为丈量仪器，有必要尽量契合丈量仪器的一切原则，如阿贝原理等。
(2)所测得的量值有必要能溯源到计量基准
作为丈量仪器进行纳米丈量，实质便是纳米被测规范和纳米级丈量基准的比对，因而，丈量值有必要能够与现有的丈量基准进行传递。
(3)进步SPM丈量精度
丈量用SPM由扫描器、微探针、丈量操控体系及隔振体系组成。扫描器由压电陶瓷组成；微探针的几许形状一般是金字塔式(pyramid shaped)和圆柱式(cone shaped tip)；丈量和操控体系用光学、电容或电感办法来丈量针尖的细小位移；隔振体系一般有悬挂绷簧式、绷簧阻尼式等,它们均是影响丈量精度的重要方针。有以下几个研讨内容：
a.减小压电陶瓷差错
SPM的扫描器由压电陶瓷制成，减小压电陶瓷差错对丈量数据的影响的办法是，选用电荷操控压电陶瓷和单向扫描去除迟滞差错，软件补偿减小非线性和蠕变差错。
b.减小扫描器的结构差错
扫描器结构差错导致了穿插差错，如一维压电陶瓷，在x方向加电压时，引起了y、z方向的位移，然后导致差错。通过对所测数据进行二次曲线拟合或全体曲面拟合去除穿插差错。
c.减小丈量体系的结构差错
从丈量学的根本原理可知，在高精度丈量时，丈量体系的结构应尽或许契合阿贝丈量原理。
d.统筹探针和样品之间的彼此效果联系
SPM探针的顶级几许形状与收集的数椐密切相关。丈量针尖的曲率半径越小，丈量成果越挨近实在描摹。为了进步丈量精度，有必要对微探针的几许形状进行精确的操控和丈量。使用时，统筹样品外表的精密程度，选取适宜曲率半径和纵横比的探针。
1.5其它纳米丈量技能
其它的纳米丈量技能还许多，如激光纳米丈量技能就有纳米零差检测法、纳米外差检测法、纳米混频检测法等。下面简介几种纳米丈量技能。
(1)光学近场扫描技能
现在光学显微技能的分辩率遭到衍射规则的影响而被约束在500nm的扫描规模内。为了消除衍射现象，将光学扫描定坐落方针外表以内50nm处。这种情况下仪器就处于光学的“近场”。可用锥形波束导向器勘探被研讨外表的辐射量子。光学近场扫描技能的横向分辩率可达10nm，可用来研讨纳米微区的光学性质。
(2)纳米光探针扫描外差干与仪原理
激光器宣布的激光束经分光镜被分为两束：一束光经声光调制器后，其频率为f+f1，该光束经必定的光路进入光电勘探器；另一束通过声光调制器，其频率为f+f2，该光束经反射镜后被物镜集聚照射到被测外表上，反射后也进入光电勘探器，以上两束激光在至少有f1-f2的频率度的勘探器上组成即发生外差干与。通过干与信号取得外表的信息。
(3)X射线干与仪原理
前期的试验证明，X射线波长的数量级约为0.1nm，晶体中的原子距离也是这个数量级，所以Laue在1912年主张用晶体作为衍射光栅。让X射线通过硫酸铜晶体，在它后边的感光胶片上就能得到中心黑点和外围对称散布的一些明点图样，叫Laue图。与可见光栅相似，中心明点与可见光的衍射相同是零级最大值，而外围明点则是因为原子的外层电子在X射线的效果下，二次发射的散射光所叠加的效果。
X射线干与仪原理与光栅相似，不过是光线变为波长更短的X射线，接纳信号是干与条纹罢了。
1.6展望
纵观纳米丈量技能开展的进程，它的研讨首要向两个方向开展：一是在传统的丈量办法根底上，使用先进的测验仪器处理使用物理和微细加工中的纳米丈量问题，剖析各种测验技能，提出改善的办法或新的测验办法；二是开展树立在新概念根底上的丈量技能，使用微观物理、量子物理中最新的研讨成果，将其使用于丈量体系中，它将成为未来纳米丈量的开展趋向。
但纳米丈量中也存在一些问题约束了它的开展。树立相应的纳米丈量环境一直是完结纳米丈量亟待处理的问题之一，并且在不同的丈量办法中需求的纳米丈量环境也是不同的，现在应该树立一个适宜的纳米环境，寻求新的丈量原理和多种技能的归纳使用。一起，对纳米资料和纳米器材的研讨和开展来说，表征和检测起着至关重要的效果。因为人们对纳米资料和器材的许多根本特征、结构和彼此效果了解得还不很充沛，使其在规划和制作中存在许多的盲目性，现有的丈量表征技能就存在着许多问题。此外，因为纳米资料和器材的特征长度很小，丈量时发生很大扰动，以致发生的信息并不能彻底代表其自身特性。这些都是约束纳米丈量技能通用化和使用化的瓶颈，因而，纳米规范下的丈量不管是在理论上，仍是在技能和设备上都需求深入研讨和开展。
2.微型智能仪器
微型智能仪器指微电子技能、微机械技能、信息技能等归纳使用于仪器的出产中，然后使仪器成为体积小、功用彻底的智能仪器，能够完结信号的收集、线性化处理、数字信号处理、操控信号的输出、扩大、与其它仪器的接口、与人的交互等功用。微型智能仪器归于微电子机械体系的研讨范畴。使用时，只需按体系的需求，选取不同微型智能仪器进行组合即可。微型智能仪器是仪器和微电子机械技能结合后的一个必定开展趋势，它的完结将带来仪器技能、传感器技能、信息技能等的严重改变。
微型智能仪器一般选用微电子机械技能将多传感器集成在一起，再与处理信号的信息处理单元和操控输出件集成。根据需求，可丈量和鉴定所感兴趣的参数，并向需求的当地传输操控信号。这个体系，能够估测由彼此搅扰发生的噪声。在人体中，传感信号通过神经体系来接纳并传给大脑，由大脑用天然的“并行计算体系”牢靠精确地测评它们，最终再操控相应的履行器官，微型智能仪器可望具有相似的功用。
2.1微型智能仪器开展的或许性
(1)微传感器的不断开展
现在，传感器有越来越小的趋势。通过MEMS技能能够完结单一的微传感器到极小规范的集成传感器体系。今日正在呈现许多的微传感器，它们很有开展前途和宽广的商场前景。国际商场容量的年增加量大约是20%，并且有许多竞争者。以MEMS技能为支撑，彻底能够完结微传感器的一个独立商场，在未来的工业自动化、环境保护、出产和加工技能以及军事范畴将发挥很大效果。
(2)信息处理单元体积的不断缩小
微型智能仪器的实质便是多传感器的集成、传感器与信息处理单元的集成、信息处理和操控信号输出。信息处理单元对应于微观的CPU。因为微电子技能的开展，现在器材的线宽可达0.18μm，微电子的集成度更高，因而可把微型传感器、信息处理单元、输出电路集成为智能仪器。
(3)封装、体系集成、模数电路的集成等技能的开展
微型智能仪器简直要触及一切的MEMS技能。在一个微型智能仪器中，不只要各种传感器的灵敏资料和结构，还要有模仿电路、数字电路、信息存储电路、信息处理电路等。这就需求处理一些相应的要害技能如封装、体系集成、衔接技能、模数电路集成等。这些问题已经在MEMS技能中得到必定的处理，因而在往后的研讨中，可为微型智能仪器的开展供给技能支撑。
2.2微型智能仪器开展的必定性
(1)模块化的开展模块化开展能够给人们供给极大的便利。现在的传感器，往往要根据传感器的自身进行前置电路的规划，还要进行体系的标定等，不只花费许多时刻，并且成果往往不抱负。而微型智能仪器是一个模块，对使用者，只需关怀它的输出即可，其它均由智能仪器自身完结。模块化的趋势是体系规划的必定趋势，也必定对微型智能仪器提出相同的要求。
(2)信息处理的开展信息获取和处理越来越快，人们在进行信号收集时，期望许多作业由CPU以外的器材完结。微型智能仪器能够作为一个计算机的外围部件，它既能完结传统智能仪器的一切作业，一起又把有用信息传输给计算机。这样使测控体系愈加简练，功率进步。
(3)体系集成的继续开展微型传感器体积小、成本低，现在已有很大开展。多传感器的集成已有许多研讨成果，信息处理单元的价格下降、体积减小，模仿数字电路在硅片上集成，这些技能有着相同的技能根底，因而能够使用现在一些集成技能或通过进一步开展，完结微型智能仪器体系的集成。
2.3技能上的问题
技能上的问题不只是怎么制作，相同重要的还有规范化问题。现在传感器的品种十分多，原理各异，选用相同的处理电路和信息处理单元是不或许的。而对不同量程、不同原理的传感器又不或许每一种研发一套信息处理单元电路，因而有必要有一个制作规范，在不同功用、不同加工办法的微构件集成在一起时，使许多的问题有相应的辅导规范。这就意味着有必要树立微型智能仪器的各种规范。只要遵从这些规范，微型智能仪器才干走向繁荣的开展路途。
3.结语
纳米丈量技能伴跟着纳米科学全面进入21世纪，它不只带动科技的开展，一起也能促进经济的开展。纳米丈量技能将成为人们降服天然、探究天然的强有力的东西。
微型智能仪器是仪器的重要开展方向，它将发明更多的商场，使咱们的日子愈加舒适、出产愈加便利。
