沟通阻抗表[1]，也称为LCR表[2]（电感[L]、电容[C]、电阻[R]），使用一个主动平衡电桥坚持电容的检测端沟通假接地，然后丈量复阻抗。这类电表一般的频率规模为1kHz到10MHz。
沟通电源、沟通伏特计、沟通安培计
图1.沟通阻抗表
这类电表（如图1所示）作业原理相对简略。它经过在高电流输出端（HCUR）施加一个沟通电压来丈量沟通阻抗[3]。经过低电流端（LCUR）丈量流过器材的电流，经过凹凸电位端（HPOT和LPOT）丈量器材上的电压降。电压和电流的丈量选用了能够准确判别二者之间相位角的锁相方法[4]。经过丈量幅值和相位角，就能够计算出恣意所需的沟通阻抗参数。
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其间：
Z=阻抗 θ=相位角 R=电阻 X=电抗 Y=导纳 G=电导 B=电纳 |
Z、θ——阻抗与相位角
R+jX——电阻与电抗
Cp-Gp——并联电容和电导
Cs-Rs——串联电容和电阻
Cp-D——并联电容和耗散因子
Cs-D——串联电容和耗散因子
图2.根本的沟通阻抗参数
要得到根本沟通阻抗参数就必须丈量阻抗的幅值，在图2中表明为“Z”。还需要丈量电流和电压之间的相位角，表明为θ。因而，在极坐标方法下，这一阻抗便是相角为θ的Z。但咱们还能够从数学大将其转化为直角坐标的方式，即表明为R+jX。其间R是实数部分，即同相阻抗矢量，jX是虚数部分，即相位阻抗矢量偏转90°，它也是电容矢量。咱们乃至能够从数学大将极坐标和直角坐标方式转化为实践的电容和电阻值。
有两种常用的沟通阻抗模型：并联模型和串联模型。在并联模型中，成果表明为并联电容（Cp）和并联电导（Gp）。在串联模型中，成果表明为串联电容（Cs）和串联电阻（Rs）。耗散因子（D），即实阻抗与虚阻抗的比值，是从数学上推导出的别的一个常用参数。当丈量晶圆上的%&&&&&%时，咱们一般要看耗散因子，由于它是判别终究C-V丈量质量的最佳目标。不管选用哪种沟通阻抗模型，耗散因子都很简单计算出来。
