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小电流丈量SMU至DUT的衔接

连接DUT时,除了使用屏蔽和保护电缆,将吉时利4200-SCS的相应端子与装置的合适端子相连接也非常重要。SMU的ForceHI和ForceLO端子连接不

衔接DUT时,除了运用屏蔽和维护电缆,将吉时利4200-SCS的相应端子与设备的适宜端子相衔接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子衔接不适宜会导致电流偏移和丈量不稳定。这些差错是由于共模电流发生的。
通常情况下,总是将SMU的高阻端子(Force HI)衔接至被测电路的最大电阻点。相同,总是将4200-SCS的低阻端子(Force LO)衔接至被测电路的最小电阻点。最小电阻点可所以公共端子或接地。假如Force HI端子被衔接至最小电阻点,共模电流就会经过丈量电路。
图14中标出了正确和不正确的丈量衔接。图14a中的衔接是正确的,由于吉时利4200-SMU的Force HI端子被衔接至晶圆上器材的极,而Force LO端子被衔接至带有维护的吸盘。晶圆上的栅极端子为最大阻抗点,维护吸盘为低阻抗点,所以该电路的衔接正确。请注意,共模电流从SMUde Force LO端子流至维护吸盘;但是,电流并不经过安培计,因而不会影响丈量。

图14.将SMU衔接至维护吸盘上的器材
图14b中的衔接是不正确的,它将SMU的Force LO端子衔接至高阻栅极,将SMU的Force HI端子衔接至维护吸盘。在这种情况下,共模电流将经过SMU以及DUT。这会形成丈量不精确,乃至不稳定。

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