MEMS传感器作为获取信息的要害器材，对各种传感设备的微型化起着巨大的推进效果，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等范畴中得到了广泛的使用。
MEMS传感器典型使用如下图：
跟着电子技术的开展，MEMS的使用范畴越来越广泛，由最早的工业、军用航空使用走向一般的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS传感器提供在声响功能、场景切换、手势辨认、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的使用；在轿车上，MEMS传感器凭借气囊磕碰传感器、胎压监测体系（TPMS）和车辆安稳性操控增强车辆的功能；医疗范畴，经过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素打针泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为实际中可实际使用的医治方法；在可穿戴使用中，MEMS传感器可完成运动追寻、心跳速率丈量等。
轿车电子MEMS传感器的使用
轿车电子工业被认为是MEMS传感器的第一波使用高潮的推进者，MEMS传感器在轿车上使用的快速开展主要是获益于各国政府全面推出轿车安全规则（比方要求一切轿车选用TPMS体系）和轿车才智化的开展趋势。全球均匀每辆轿车包含10個传感器，在高级轿车中，大约选用25至40只MEMS传感器，车越好，所用的MEMS就越多，BMW740i轿车上就有70多只MEMS。MEMS传感器可满意轿车环境严苛、可靠性高、精度精确、成本低的要求。其使用方向和市场需求包含车辆的防抱死体系（ABS）、电子车身安稳程序（ESP）、电控悬挂（ECS）、电动手刹（EPB）、斜坡起动辅佐（HAS）、胎压监控（EPMS）、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。
