压阻式传感器的结构
这种传感器选用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于张贴式应变计需经过弹性灵敏元件直接感触外力,而是直接经过硅膜片感触被测压力的。
硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般规划成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片定域分散4条P杂质电阻条,并接满足桥,其间两条坐落压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。
此外,也有选用方形硅膜片和硅柱形灵敏元件的。硅柱形灵敏元件也是在硅柱面某一晶面的必定方向上分散制造电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构满足桥。 压阻式传感器是依据半导体资料的压阻效应在半导体资料的基片上经分散电阻而制成的器材。
其基片可直接作为丈量传感元件,分散电阻在基片内接成电桥方式。
当基片遭到外力作用而发生形变时,各电阻值将发生改变,电桥就会发生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片(或称膜片)资料首要为硅片和锗片,硅片为灵敏 资料而制成的硅压阻传感器越来越遭到人们的注重,特别是以丈量压力和速度的固态压阻式传感器使用最为遍及。
压阻式压力传感器产品引荐:
美国MEAS 硅压阻式压力传感器 – 27AND37
美国MEAS 硅压阻式压力传感器 27AND37 ,它选用 Measurement Specialties 的专有 UltraStable™ 冲模来供给大温度规模内的超卓功用和长时间稳定性。 0-15 到 0-250 psi 的丈量仪和压差规模可用。
美国MEAS 硅压阻式压力传感器 – MS4425
MS4425 是一款温度补偿、硅压阻式压力传感器,选用双列直插式封装,首要用于要求超卓功用和长时间稳定性的本钱灵敏型使用。
美国MEAS 硅压阻式压力传感器 – MS4426
美国MEAS 硅压阻式压力传感器 MS4426 是一款温度补偿、压阻式硅压力传感器,选用双列直插式封装,首要用于要求超卓功用和长时间稳定性的本钱灵敏型使用。
硅压阻式压力传感器 – MS5534C
MS5534C硅压阻式压力传感器选用先进的ADC模数转化IC,供给16位的压力和温度数字输出。传感器还供给6个可读系数用于高精度软件校对。MS5534C的首要特点是低电压、低功耗,以及主动待机(ON/OFF)功用。
硅压阻式压力传感器 – 1200系列
1200系列是经过温度补偿的硅压阻式压力传感器,选用双列直插封装结构。经过激光批改电阻完成大规模的温度补偿,以及调理差动放大器的增益来校对传感器的压力灵敏度改变。