简介
使用高压、大电流源丈量单元(SMU)来规划和构建功率半导体器材直流特性剖析测验体系包含以下几个过程:
• 挑选满意测验要求的设备
• 挑选连招待测器材(DUT)与仪器的电缆和夹具
• 查看体系安全和仪器维护
• 优化仪器树立，保证丈量完整性
• 操控仪器硬件
功率半导体器材的规划保证：在敞开（ON）状况下，它能够为负载供给很多功率，而本身却耗费最小的电源功率（高效率）；在封闭（OFF）状况下，它向负载供给的功率简直为零，一起本身也耗费最小的电源功率（高效率）(待机电流十分小)。因而，功率半导体器材的特性剖析或直流参数测验能够分为两种：敞开状况特性剖析和封闭状况特性剖析。本使用笔记对这两种测验使用进行阐明，并给出使用多种吉时利数字源表源丈量单元(SMU)仪器构建测验体系的实例。
挑选满意测验要求的设备
功率器材测验一般只需求在一、两个端口接入大功率仪器。例如，高压N-沟道MOSFET封闭状况特性剖析需求在漏极供给高压电源；一切其他端口只需坚持电压较低的电源驱动。相反，当对其敞开状况功用进行特性剖析时，则需求在源极施加大电流，因而，只要求这两个端口坚持额外的最大功率。测验研究人员假如从较低功率器材测验转向较高功率器材测验，能够在门极和基底端口重用某些现有的测验设备。假如多个器材能够共用同一测验仪器，那么用户就能够完结出资报答的最大化。
为了挑选恰当的测验设备，有必要澄清源和丈量所需电流的最小值和最大值。假如或许的话，就挑选最小值和最大值能够扩展的设备，这样，能够习惯新器材测验开展的需求。
吉时利2600A系列源丈量单元（SMU）是使用不断演进的测验体系进行规划的。TSP-Link®内部设备通讯总线支撑创立“无主机”体系，一起在多个源丈量单元（SMU）通道完结亚微秒同步。
2600A系列产品的最强壮特性之一是使用它能够构建满意各种使用测验需求的体系，一起坚持无缝的体系功用。2600A系列源丈量单元（SMU）包含8个类型，它们具有多种功用和才干:
• 当脉冲功率2000W时，电流量程为50A(使用两个SMU并联，能够完结100A)
• 在功率60W时高达3kV的电压源，功率180W时高达1500V的电压源
• 亚皮安丈量才干
• 对较低功率SMU，供给1A或3A直流源。十分合适对具有较大基极电流的大功率晶体管进行测验。
在现有的商用测验主机中，这种才干一般是难得一见的，曾经往往需求装备定制或半定制自动测验设备才干完结。此外，使用独立仪器还答应测验工程师依据测验需求的新开展来增加新的才干。独立的大功率源丈量单元（SMU）能够扩展半导体参数剖析仪的电流和电压才干，然后扩展可测器材的规模。
