MEMS传感器是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。它具有体积小、质量轻、本钱低、功耗低、可靠性高、技能附加值高，适于批量化出产、易于集成和完成智能化等特色。
MEMS传感器通常被分为以下7类。
1、压力传感器：肯定压力的传感器和计量压力的传感器。
2、热学传感器：温度和热量传感器。
3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。
4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反响率传感器。
5、磁学传感器： 磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。
6、辐射传感器：电磁波强度传感器。
7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。
除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判别的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图画传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技能使用也是不同的。
MEMS传感器已在消费电子产品、轿车工业、医疗保健、机器人及主动化工业、太空卫星、运载火箭、航空航天设备等范畴有着广泛的使用，其间消费类电子已经成为了MEMS传感器的榜首大使用商场，2014年全球销售额已达30亿美元。
跟着轿车、智能配备、家电类产品范畴的迅速增加，MEMS传感器用量将大大添加。物联网、云核算、大数据、才智城市更为传感器创造了杰出的商场空间，农业、环保、食物检测、才智医疗、健康养老、可穿戴设备、机器人、3D打印也为MEMS传感器技能的前进和使用立异拓宽了思路。
2014年，全球MEMS传感器商场规模为130亿美元，剖析组织估计2015-2020年MEMS传感器商场将以13%年复合成长率增加，2020年将到达300亿美元。
近十年来，我国的MEMS传感器工业生态系统逐渐完善，已构成从技能研制、规划、出产到使用的完好系统， 部分细分范畴已跻身世界抢先水平。
据剖析组织YOLE陈述，2014年，全球排名前30的MEMS传感器商场厂商傍边，我国占有了2个座位，瑞声科技，排名20；歌尔声学，排在第27位。从工业的视点而言，对我国MEMS传感器企业起到了很好的引导示范作用。
MEMS麦克风供货商歌尔声学（Goertek）、瑞声科技（ACC）、共达电声（Gettop）等经过购买英飞凌的MEMS和ASIC芯片，然后自己封装；瑞声科技和歌尔声学分别是全球第二和第四大MEMS麦克风供货商，出货量占2014年全球商场的25%。
美新（MEMSIC）的加速度计和磁力计，深迪（Senodia）的磁力计和陀螺仪，明皜（MiraMEMS）加速度计、磁力计、6轴电子罗盘，矽睿（QST）加速度计和磁力计，姑苏敏芯微电子MEMS麦克风。这些MEMS企业虽然有些产品出货量还比较低，可是在低端消费范畴仍是有了必定的竟争力。
到2014年的统计数据，我国MEMS 传感器企业已经有190家。其间做MEMS软件与专用电路的有11家；做MEMS产品规划的有143家；做MEMS封装与测验的有16家；做MEMS前端制作工艺线的，有20家。
2015年，我国重要的MEMS传感器草创企业在商场上披荆斩棘，顺畅拿到了融资，未来远景可期。
共达电声拟以不超越2500万元收买北京卓锐微技能有限公司100%股权。公司拟经过上述股权收买，把握国产MEMS麦克风中心芯片研制、出产技能，前进微电声产品全体研制水平，并有用笔直整合MEMS麦克风产品工业链条，缩短新产品开发周期，拓荒国产MEMS麦克风代替进口商场。北京卓锐微技能有限公司是一家优异的集成电路芯片、MEMS芯片规划、研制公司，独立供给完好的MEMS麦克风中心芯片解决计划。
矽立科技（mCube）获得盛世出资的上亿人民币出资。（盛世出资刚收买了全球抢先的纯MEMS代工厂Silex Microsystems）。矽立科技（mCube）致力于将MEMS运动传感器使用在全部可移动的物体，供给快捷的互联，然后改动顾客的日子和商业交互方法。
姑苏固锝电子股份有限公司子公司明皜传感A轮融资金额9500万元。明皜传感首要从事MEMS传感器的研制、规划和出产，并供给相关技能服务。首要产品方向有：加速度计、陀螺仪（研制中）、压力传感器、磁传感器和MEMS麦克风，旨在为消费电子、轿车电子、工业主动化等范畴供给所需的产品和集成计划。
姑苏敏芯微电子技能有限公司的老股东增值2000多万元。姑苏敏芯微电子技能有限公司建立于2007年，是我国国内最早建立的MEMS研制公司之一。，具有数项触及MEMS关键技能的打破性创造和世界级科研成果。敏芯微电子的首要产品有MEMS麦克风、压力传感器、惯性传感器等。
虽然我国MEMS 传感器已获得长足的前进，但我国作为全球最大的电子产品出产基地，耗费全球四分之一的MEMS器材，可大部分MEMS传感器仍依靠进口，就总体水平而言，国内MEMS传感器仍以中低端为主，技能相对落后，与欧美日比较，国内涵整个工业的各个环节都有距离，制作技能和封装技能愈加显着，原始性立异的产品少，导致产品的附加值和商场份额都比较低。
MEMS传感器归于集成电路职业，从集成电路职业剖析看来，MEMS传感器是咱们与国外距离比较小的范畴，这与MEMS传感器工业全体起步较晚不无关系，并且与IC产品品种比较单一不同，MEMS传感器产品多样，立异空间巨大。
姑苏敏芯微电子技能有限公司CEO李刚就表明：“客观地讲我国MEMS范畴的研制水平总体上是落后于国外不少，可是我一向觉得咱们有很大的时机进行部分打破。从长时间来看，我一向看多国内的MEMS工业。由于MEMS工业并不遵照摩尔定律，不是一个先进工艺驱动的工业。这就意味着，一旦国内厂商收购了专用 MEMS设备，它不用向半导体工业那样不断晋级更新进的设备。设备具有了，出产环节又是国内代工厂的优势，国内的商场又足够大能支撑起许多MEMS公司， 那么国内MEMS公司耐心肠做好技能，那么就能带动整个工业链，到达一个很好的良性循环。”
依托全球最大的消费类商场，根据本乡化的优势，规划、工艺做到与世界厂商看齐，本钱具有本乡优势，而技能支撑能够做到实时，这便是本乡MEMS传感器厂商的竞赛优势。
现在国家对MEMS传感器职业的方针支撑力度非常大，本乡厂商要趁着全球半导体工业增速放平缓国家大力支撑MEMS工业化之际，经过并购重组进一步完善整个工业链，逐渐累积 MEMS范畴的专利，不断前进国内规划及工艺技能水平，活跃引入世界化人才并加速本乡人才的培育。
小结：跟着MEMS传感器商场的不断扩大，在物联网机会下，我国MEMS传感器工业将迎来巨大开展远景，布局妥当有或许完成“弯道超车”， 经过几年的尽力跻身全球榜首阵营，完成跨越式开展。
