MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电体系。是指尺度在几毫米乃至更小的高科技设备，其内部结构一般在微米乃至纳米量级，是一个独立的智能体系。首要由传感器、动作器（执行器）和微动力三大部分组成。微机电体系触及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、资料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技能，为智能体系、消费电子、可穿戴设备、智能家居、体系生物技能的组成生物学与微流控技能等范畴开辟了宽广的用处。常见的产品包含MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。
MEMS是一个独立的智能体系，可大批量出产，其体系尺度在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米乃至纳米量级。例如，常见的MEMS产品尺度一般都在3mm&TImes;3mm&TImes;1.5mm，乃至更小。
微机电体系在国民经济和军事体系方面将有着广泛的使用远景。首要民用范畴是电子、医学、工业、轿车和航空航天体系。
美国已研制成功用于轿车防撞和节油的微机电体系加速度表和传感器，可进步轿车的安全性，节油10%。仅此一项美国国防部体系每年就可节约几十亿美元的汽油费。微机电体系在航空航天体系的使用可大大节约费用，进步体系的灵活性，并将导致航空航天体系的革新。在军事使用方面，美国国防部高档研讨方案局正在进行把微机电体系使用于个人导航用的小型惯性丈量设备、大容量数据存储器材、小型分析仪器、医用传感器、光纤网络开关、环境与安全监测用的分布式无人值守传感等方面的研讨。该局已演示以微机电体系为根底制作的加速度表，它能接受火炮发射时发生的近10.5个重力加速度的冲击力，可认为非制导弹药供给一种经济的制导体系。想象中的微机电体系的军事使用还有：化学战剂报警器、敌我辨认设备、灵活蒙皮、分布式战场传感器网络等。
MEMS的开展前史
1．修改微机电体系是从微传感器开展而来的，已有几回突破性的发展：
2．70年代微机械压力传感器产品面世
3．80年代末研制出硅静电微马达
4．90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器材等相继规模化出产
5．充沛展现了微体系技能及其微体系的巨大使用远景
