MEMS进步医疗设备流量丈量精度

流量传感器是很多医疗设备的要害器材，它被用来监督气体输出量以保证流量准确。现在可用的流量传感技能首要包含压差传感、正排量传感及叶轮传感。与那些不包含集成的信号扩大与温度补偿电路的丈量元件，微机电体系(MEMS)大流量传感器更简略集成(图1)。尽管MEMS大流量传感器具有许多长处，但由于其丈量的流量比较大，所以价格一向偏高。



降低成本、削减空间、减轻分量的一个办法是在旁路通道设置低流量传感器来丈量主通道上较大的流量。MEMS流量传感器旁路通道设置类似于差压传感器(间接丈量气体流量，见图2).。与压差传感器比较，MEMS传感器在很低流量情况下仍然能够供给更高的分辨率。图3描绘了一般大流量传感器与压差传感器之间的差异。在流量接近于零的情况下，压差曲线变缓，难于判别该方位的流量究竟为零仍是为负。





图4：主通道上的限流设备使液体流向阻力最小旁路通道并经过MEMS流量传感器。

最简略的旁路通道设置包含刺进到主通道的两个端口，主通道和端口之间有限流管。该限流管使液体流向阻力最小的通道，进入分流管并经过流量传感器。因而，传感器两头的压差数值将大于或等于两个分流端口的压差(图4)。在规划分流设备时，需求考虑流速、主通道到传感器的间隔、主通道与旁路通道的内径、限流管的约束流量与形状(图5)等问题。限流设备不只能够在通道内发生压差，并且能够使通道内构成层流。