在确认并减小外部差错后，假如或许的话，可将测验体系的内部和外部偏移从将来的丈量成果中减去。首要，如上所述，在输入戴有金属帽的情况下对SMU进行主动校准。然后，确认每个SMU至探针的偏移。使用软件中的公式计算器东西，可将该均匀偏移从随后的电流丈量成果中减去。为了进行极低电流的丈量，应定时从头丈量均匀偏移电流(至少每月一次)。
定论
当装备可选的吉时利4200-PA型长途前置放大器时，4200-SCS型半导体特性剖析体系可精确丈量pA级或更小的电流。应经过丈量整个丈量体系的偏移电流来确认体系的约束，必要时进行调理。可采用一些技能减小丈量差错源，例如屏蔽、维护、仪器的正确接地，以及在KITE软件中挑选适宜的设置，包含留有满足的树立时刻。吉时利的低电平丈量手册供给了关于优化低电平丈量技能的更多信息。
更多参阅
Keithley Instruments，4200-SCS型参阅手册，第5章(含在体系软件中)
Keithley Instruments，低电平丈量手册，2004年第6版。
