陶瓷压力传感器分类
陶瓷压力传感器的基材都是Al2O3陶瓷,依据完成的原理能够分为电容式压力传感器和压阻式压力传感器。
陶瓷电容式压力传感器
陶瓷基板与隔阂镀上金属作为电极运用。两种陶瓷部件经过玻璃密封衔接在一起, 坚持可控空隙,以便两个金属电极构成电容。假如施加压力,那么将改动基板与隔阂的空隙,然后改动传感元件的电容量,经过后续的处理电路构成压力相关信号输出。
因为陶瓷膜片边际固定在陶瓷基座上,周边支撑,受力时中心形变大,边际形变小,电容量发生非线性并使灵敏度下降。为了削减温度影响和边际效应,设计时在陶瓷膜片上设置一圆形的单电极作为公共电极,陶瓷盖板上设置双电极并使面积持平,构成同轴环状的双电容传感器。中心为丈量电容Cp, 边际环形为参阅电容Cr,Cr的外侧是固支边。后续的信号调度电路处理的是两电容的压差,使用方波鼓励信号把Cp和Cr的改变量别离转换为直流电压输出,经过两输出电压的差值信号来丈量外加压力的巨细。双电容结构大大减小了传感器体系的非线性差错,一起在环境温度改变时,因为两电容感触同一温度的改变,温度对它们发生的温度效应是共同的,这就抵消了温度改变带来的丈量差错,完成温度自补偿的作用。
陶瓷压阻式压力传感器
压阻式压力传感器主要由瓷环、陶瓷膜片和陶瓷盖板三部分组成。陶瓷膜片作为感力弹性体,其上用厚膜工艺技能构成惠斯顿电桥作为传感器的电路,因为电阻的压阻(形变)效应,发生电压信号。
厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的反面,衔接成一个惠斯通电桥(闭桥),当压力为零时,电桥处于平衡状况,输出端电压为零;当施加压力于电桥时,膜片发生形变导致电桥的四个电阻阻值发生改变,电桥处于不平衡状况,发生一个与压力成正比的高度线性、与鼓励电压也成正比的电压信号。因为电阻的压阻(形变)效应,发生电压信号。规范的信号依据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,能够和应变式传感器相兼容。经过激光标定,传感器具有很高的温度稳定性和时刻稳定性,传感器自带温度补偿0~70℃,并能够和绝大多数介质直接触摸。
陶瓷压力传感器的使用
进程操控、环境操控、液压和气动设备、伺服阀门和传动、化学制品和化学工业及医用外表等很多范畴。热喷涂耐高温陶瓷涂层最能体现热喷涂技能特色,使用作用最杰出,是影响最大的一个使用范畴。