跟着大规模集成电路向深次微米年代开展，制程的可操控规模将变得愈加狭隘，对集成电路牢靠性的要求也不断提高。集成电路制作商需求更多的在线、实时监控手法来确保出产线上的良率与产品的牢靠性。因为对集成电路组件容量要求愈来愈大但相关于芯片尺寸要求愈来愈小，因而，金属互连层在产品的牢靠性方面扮演着越来越重要的人物。芯片级的应力搬迁（Stress Migration）测验、恒温电搬迁测验（Iso- thermal Electro MigraTIon） 与封装级测验是监测金属互连层牢靠性的首要办法。可是他们的一起问题是需求几百乃至上千小时的测验周期，这关于快速的在线监测要求来说是不能承受的。电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance）作为一个反映电阻随温度改动的参数在金属互连线的牢靠性测验中被广泛运用。对电阻温度系数的内涵意义进行了具体的论述，指出电阻温度系数的巨细与金属互连层的微观结构相关，与电搬迁测验的成果具有较强的相关性。电阻温度系数能够作为一个金属互连层牢靠性监测的前期参数，对工艺开展、产品验证以及在线监测进行前期猜测。
电阻温度系数
电阻温度系数（temperature coefficient of resistance 简称TCR）表明电阻当温度改动1摄氏度时，电阻值的相对改动，单位为ppm/℃。有负温度系数、正温度系数及在某一特定温度下电阻只会发作骤变的临界温度系数。紫铜的电阻温度系数为1/234.5℃。电阻温度系数是一个与金属的微观结构密切相关的一个参数，在没有任何缺点的状况下，它具有理论上的最大值。也就是说，电阻温度系数自身的巨细在必定程度上表征了金属工艺的功能。在新技术工艺的研制进程或在线监测中，咱们能够运用电阻温度系数对金属的牢靠性进行前期监测与快速评价。
在半导体中，金属互连层（铝或铜）的阻值在常温邻近的规模内与它的温度具有线性联系，这也是半导体测验中金属互连线经常被用来作为温度传感器的原因。半导体顶用电阻温度系数来表征金属的阻值和它的温度之间的联系。电阻温度系数表明单位温度改动时，电阻值（电阻率）的相对改动。
电阻温度系数并不安稳而是一个跟着温度而改动的值。跟着温度的添加，电阻温度系数变小。因而，咱们所说的电阻温度系数都是针对特定的温度的。
关于一个具有朴实的晶体结构的抱负金属来说，它的电阻率来自于电子在晶格结构中的散射，与温度具有很强的相关性。实践的金属因为工艺的影响，构成它的晶格结构不再完好，例如界面、晶胞鸿沟、缺点、杂质的存在，电子在它们上面的散射构成的电阻率是一个与温度无关的量。因而，实践的金属电阻率是由彼此独立的两部分组成。
电阻温度系数是一个与金属的微观结构密切相关的一个参数，在没有任何缺点的状况下，它具有理论上的最大值。也就是说，电阻温度系数自身的巨细在必定程度上表征了金属工艺的功能。在新技术工艺的研制进程或在线监测中，咱们能够运用电阻温度系数对金属的牢靠性进行前期监测与快速评价。
用电阻比核算温度要比用电阻肯定值核算温度更精确的原因？
自1927年经过国际实用温标至现在，国际实用温标都选用电阻比核算温度，这是因为用规范铂电阻温度计丈量时，用电阻比核算温度要比用电阻肯定核算温度更精确，介绍用电阻比核算温度要比用电阻肯定值核算温度更精确的原因。
1、试验成果证明：规范铂电阻温度计在水三相点是电阻值Rtp，在避免条件下的天然改动或受热后的改动有三种状况：①逐步升高；②逐步下降；③经充沛退火后，Rtp趋于安稳。电阻比尽管也相同有逐步升高或下降的趋势，但要比电阻肯定值的改动安稳得多。
2、规范铂电阻温度计电阻值是由测温电桥或电位差计测定，为此至少也需求运用一个（或几个）规范电阻作规范，因而在电阻值的传递进程中，因为检定差错或规范电阻的不安稳性，以及因为其他原因引起的差错（其间包含系统差错），会使人误人为规范铂电阻温度计时不安稳的。假如选用电阻比核算温度时，规范电阻的改动对规范铂电阻温度计电阻比的影响很小，乃至能够疏忽。
3、尽管Rtp的安稳是调查规范铂电阻温度计的首要依据，可是还应调查温度计丈量规模内某一固定温度电阻比的安稳性，还规则了温度计的感温元件有必要满意系列两个条件之一：WGa≥1.11807 或 WHg≤0.844235，这样从电阻的肯定值和相对值的改动状况来调查规范铂电阻温度计的安稳性，便会使规范铂电阻温度计的调查愈加全面，温度丈量愈加牢靠精确。用电阻比核算温度要比用电阻肯定核算温度更精确。
