真空传感器结构
真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（ 上电极） 、上层密封用的玻璃组成， 其间下电极溅射在玻璃衬底上， 电极上成长一绝缘层； 硅膜是使用硅片的双面光刻、分散和各向异性腐蚀技能构成的。该电容式真空传感器有两个腔体， 其间上面的腔体是一个真空腔， 下面的腔体是键合构成的， 这个腔体不是密封的， 腔内气体与外界气体相通。电容器的两平板间的间隔可由硅片腐蚀的深度操控， 硅膜片与玻璃电极之间的空隙很小， 这也是硅电容式传感器灵敏度高的原因。
真空传感器特征特征
真空传感器其特征在于设有硅尖阵列发射阴极、金属阳极、玻璃衬底、发射腔体和电极引线，金属阳极溅射在玻璃衬底上，硅尖阵列发射阴极刻蚀在硅片上，刻蚀有硅尖阵列发射阴极的硅片与溅射有金属阳极的玻璃衬底键合在一起构成发射腔体，1对电极引线别离接硅尖阵列发射阴极和金属阳极，电极引线别离由硅片和阳极金属引出外接稳压。
真空传感器的作业原理
真空度是指低于大气压力的气体的淡薄程度，通常以压力来表明真空度，压力高意味着真空度低，压力低意味着真空度高。因为真空传感器上面的腔体是真空腔体，在大气压力下，作为传感器灵敏元件的硅膜片在压力的效果下会向上兴起。当真空传感器下面腔体内的真空度不一起，硅膜片向上兴起的程度就不同，硅膜片向上兴起使得电容两极板之间的间隔发生改变，依据平板电容的公式可知电容也随之发生化，真空度与电容值是对应的，电容值跟着真空度的改变而改变。因为电容值与真空度的联系，电容值的改变经过丈量电路转换为电压或频率信号，检测电压或频率信号能够得到对应的真空度。
