MEMS传感器职业是一个新式的职业，在我国商业化的时刻不到10年，而在全球也只要20余年的产业化进程。
MEMS传感器代表了未来传感器的开展方向，具有体积细小、低功耗、一致性高级特色，可大批量、低成本制作，大大拓宽了传感器的使用范畴，为智能设备的开展奠定了重要的技能根底，亦是物联网的重要组成部分。
现在，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研发和出产作业，已研发出包含微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其间MEMS传感器占相当大的份额。
作为获取信息的要害进口，MEMS传感器已在轿车、消费电子、航空航天、生物医学等范畴中得到了广泛的使用。而跟着时刻的推移和技能的逐渐开展，MEMS所包含的内容正在不断添加，并变得愈加丰厚。
轿车范畴
在20世纪90年代，MEMS首先在轿车工业开端使用，轿车电子被认为是MEMS传感器第一波使用高潮的推动者。
获益于轿车职业安全规则及信息化、智能化浪潮，MEMS传感器在轿车范畴得到飞速开展，其使用方向和商场需求包含车辆的防抱死体系、电子车身安稳程序、电控悬挂、电动手刹、斜坡起动辅佐、胎压监控、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等。
依据相关调研数据，现在均匀每辆轿车包含10-30个MEMS传感器，而在高级轿车中大约会选用30乃至上百个MEMS传感器。
MEMS压力传感器首要使用在丈量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作资料，以选用MEMS技能在资料中心制作成力敏膜片，然后在膜片上分散杂质构成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方法将应变电阻连接成电路，来取得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的方法。
而MEMS加速度计的原理是依据牛顿的经典力学规律，一般由悬挂体系和检测质量组成，经过微硅质量块的偏移完成对加速度的检测，首要用于轿车安全气囊体系、防滑体系、轿车导航体系和防盗体系等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、地道电流型、谐振式和热电偶式等方法。其间，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特色，是MEMS微加速度计中的主流产品。
微陀螺仪是一种角速率传感器，首要用于轿车导航的GPS信号补偿和轿车底盘控制体系，首要有振荡式、转子式等几种。使用最多的归于振荡陀螺仪，它使用单晶硅或多晶硅的振荡质量块在被基座带动旋转时发生的哥氏效应来感测角速度。例如轿车在转弯时，体系经过陀螺仪丈量角速度来指示方向盘的滚动是否到位，自动在内侧或许外侧车轮上加上恰当的制动以避免轿车脱离车道，一般，它与低加速度计一同构成自动控制体系。
消费电子
跟着消费电子的大开展及产品立异不断涌现，该范畴现已替代轿车成为MEMS最大的使用商场。
MEMS传感器在消费电子产品中可用于运动/掉落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面交互、电源办理、GPS增强/盲区消除、速度/间隔计数等，使用较多的品类为MEMS麦克风、3D加速器、MEMS射频组件、GPS陀螺仪、小型燃料电池与生化芯片等。多种MEMS传感器的归纳使用可添加电子设备的娱乐性及智能性，改进交互功能，大大提升了用户体会。
在手机摄影功能上，MEMS更是发挥着重要的效果。在MEMSDrive呈现之前，手机摄像头首要由音圈马达移动镜头组的方法完成防抖（简称镜头防抖技能），遭到很大的限制。而另一个在商场上较高端的防抖技能：多轴防抖，则是使用移动图画传感器（ImageSensor）补偿颤动，但由于这个技能体积巨大、耗电量超出手机载荷，一向无法在手机上使用。
凭着微机电在体积和功耗上的打破，最新技能MEMSDrive相似一张贴在图画传感器反面的平面马达，带动图画传感器在三个旋转轴移动。MEMS？Drive的防抖技能是透过陀螺仪感知摄影进程中的瞬间颤动，依托精细算法，计算出马达应做的移动起伏并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完，你得到的图画才不会由于颤动含糊掉。
航空航天
MEMS在航空航天范畴首要有状况传感器和环境传感器之分。状况传感器首要针对飞机姿势、燃料用量、生命活动、各种活动机件的即时方位等进行监测。环境传感器首要针对温湿度、氧气浓度、流量巨细等方面进行丈量。经过供给有关航天器的作业信息，MEMS传感器起到毛病确诊、供给决策依据、保证正常飞翔的效果。近期事端频出已全球停飞的波音737MAX飞机，毛病首要原因之一是迎角传感器发生读数输出过错，导致了体系不能起到严厉的维护效果。小小传感器对航空航天安全的重要性可见一斑。
生物医疗
跟着体外确诊、药物研讨、病患监测、给药方法以及植入式医疗器械等范畴开展，医疗设备需求敏捷进步功能、降低成本、缩小尺度。MEMS技能使医疗设备能够做到微型化，医疗检测、确诊、手术和医治进程能够愈加快捷、精准，乃至无痛。
MEMS压力传感器能够检测包含血压、眼内压、颅内压、子宫内压等在内的人体器官压力水平。MEMS惯性器材最首要用于心脏病医治设备。MEMS图画传感器遍及使用于包含CT扫描、内窥镜在内的医学成像设备中。MEMS技能在传感和履行功能上的优势，使其在医疗健康职业的使用广泛增加。
此外，MEMS技能在国防、工业、动力及环保等范畴也有广泛使用，为各行各业供给自动化、智能化的数据接口，赋能智能社会。依据相关商场调研数据，全球MEMS商场结构中消费电子范畴占比最高，增加空间最大的是生物医疗范畴。
