高分子材料湿敏元件
使用有机高分子材料的吸湿功能与膨润功能制成的湿敏元件。吸湿后,介电常数产生明显改变的高分子电介质,可做成电容式湿敏元件。吸湿后电阻值改动的高分子材料,可做成电阻改变式湿敏元件。图2是高分子薄膜电介质电容式湿敏元件的根本结构。常用的高分子材料是醋酸纤维素、尼龙和硝酸纤维素等。高分子湿敏元件的薄膜做得极薄,一般约5000埃,使元件易于很快的吸湿与脱湿,减少了滞后差错,呼应速度快。这种湿敏元件的缺陷是不宜用于含有机溶媒气体的环境,元件也不本领80℃以上的高温。
金属氧化物膜湿敏元件 许多金属氧化物如氧化铝、四氧化三铁、钽氧化物等都有较强的吸脱水功能,将它们制成烧结薄膜或涂布薄膜可制造多种湿敏元件。把铝基片置于草酸、硫酸或铬酸电解槽中进行阳极氧化,构成氧化铝多孔薄膜,经过真空蒸发或溅射工艺,在薄膜上构成透气性电极。这种多孔质的氧化铝湿敏元件互换性好,低湿规模测湿的时刻呼应速度较快,滞后差错小,常用于高空气球上测湿。四氧化三铁胶体的长处是固有电阻低,长时间置于大气环境外表状况不会改变,胶体粒子间彼此招引粘结严密等。它是一种价廉物美,较早投入批量生产的湿敏元件,在湿度丈量和湿度操控方面都有很多使用。