当时,咱们正在阅历第四次工业革命的历史进程,在这里催生了许多新技能和新商场,比方物联网、人工智能、新能源、3D打印、纳米技能等等。这么多新的技能和产品彼此鼓励、相互交融,一起推进半导体职业不断开展,然后改动人类的生活方式。
在半导体职业的开展傍边,除了有新技能作为推进要素,先进资料也是十分重要的。作为特别化学品和先进资料解决方案的领导企业Entegris,在先进资料方面具有十足的话语权。Entegris副首席技能官Montray C. Leavy 博士向本站记者共享了他们关于职业开展的新主意。
Entegris副首席技能官Montray C. Leavy 博士
Entegris成立于1966年,总部坐落美国马萨诸塞州Billerica,在整个全球大概有4千名职工,现在已具有近3千个专利。公司有80%-90%的事务在半导体职业,其次是在生命科技范畴。Entegris的首要产品以及解决方案包含了污染操控、先进资料的处理,以及先进资料的出产。
在当时的半导体商场中,物联网的开展带来数以亿计的新产品,数字化、智能化也催生了许多产品和解决方案,这些都带动了芯片工业的开展。
有开展就会有应战,关于芯片工业的应战,Leavy博士总结了几点:“第一个应战,是关于产值以及本钱的应战。由于物联网会催生爆破性的数据添加,咱们的整个职业需求满意客户在产值添加方面的需求,也要满意他们对杂乱芯片的需求。第二个应战,是关于功用以及杂乱性的。由于芯片的规划以及制作变得越来越杂乱,芯片在往后是整个的3D结构,也就需求更新、更机器化的资料,所以就会添加整个流程的过程,也添加了关于纯净度的一个要求。第三个应战,是关于良率以及可靠性的。良率以及可靠性,关于产品都是十分要害的。所有这些都对资料,以及纯净度提出了更高的要求。”
这样的应战,关于Entegris来说也是机会。Entegris有自己的立异技能和解决方案,可以继续协助客户,而且对整个职业的开展做出尽力。
关于进步芯片的产值、功用和良率,Entegris首要从四个方面下手,分别为资料科学剖析、微污染操控、先进资料和杰出制作。
在资料科学以及剖析方面,Entegris首要重视于这几个方面:别离科学,外表科学以及污染剖析源。在“微污染操控”方面,有十分先进的气体、液体过滤以及进步纯净度的解决方案。别的还有特别针对先进晶圆制作的空气分子污染操控(AMC)解决方案。关于先进资料的解决方案,包含了组成资料,包含一些高精度的气体混合物、特种的覆膜,还有一些外表的预备资料、净化资料,以及液体、气体的贮存和运送。最终,在“杰出制作”这些方面Entegris供给了十分先进的质量操控,而且到达了全球制作的出产掩盖程度。这几个方面,Entegris可以为芯片工业供给先进的技能和科学支撑。
Leavy博士还特别提到了关于液体、气体运送的问题。玻璃瓶一直是半导体器材制作过程中用于存储、运送和配送化学品的规范容器。但跟着器材尺度越来越小,玻璃瓶成为了导致元器材缺点的新本源。除此之外,跟着晶圆厂的规划扩大和自动化程度进步,人们对安全性日益重视,这促进业界开发玻璃容器的代替品。对此,Entegris研制了以聚乙烯内衬为根底的瓶体系来代替用于洁净化学品交给的玻璃容器,这种瓶体系选用 PTFE/ PFA 内衬,彻底密封规划,减少了经过溢出或蒸腾发生的化学品废物,而且其分量更轻、强度更高且不易破碎,比较玻璃瓶也更为安全,运送本钱更低。
物联网是物与物之间的互联互通,从而催生了数据的爆破式添加。估计到2025年,全球处理器商场估计将添加约350%,许多的数据需求被搜集、被存储,等候被处理,此刻就需求3D NAND这样的新产品。
3D NAND是一种新式的闪存类型,经过堆叠存储单元来愈加存储量。不断叠加的层数对工艺和资料要求苛刻。因而,特别化学品关于3D NAND来说十分重要,例如,怎么阻隔 3D NAND堆叠的不同电介质,将对 3D NAND 金属前体提出新的需求。一起,跟着它的纵横比越来越高,需求去清洁许多的堆叠层。Entegris研制了一款名为高选择性氮化硅蚀刻(High Selective Nitride Etch)的产品,去完成这样的功用。这是一款专门为3D NAND而研制的产品。假如没有这个产品,96层的3D NAND 就做不出来。
在未来,96层的3D NAND将会到达128、256层,层数越高关于制作工艺的要求也就越高,就愈加需求像Entegris这样的公司供给更为立异、更有价值的产品和解决方案。
Entegris关于我国商场十分重视,尤其是我国现已走在物联网范畴的前端,需求更多的、更有立异含义的技能解决方案。据了解,Entegris在我国的事务开展现已超越25年的时刻,在我国设有5个办事处,并与国内一些先进的出产制作商及职业领先者树立了协作伙伴关系。例如,与福建博纯资料有限公司及湖北晶星科技股份有限公司签署协作协议,出产特种气体产品及高纯度堆积产品。
2018年,Entegris投入2500万人民币在上海树立了我国技能中心,用于推进公司关于使用支撑方面进行测验。一起可以关于专业的解决方案进行测验,协助客户发现问题、解决问题,而且和客户一起进行相关的使用开发。这是Entegris树立全球基建的其间一部分。
Leavy博士表明:“咱们也希望可以用当地的言语和咱们的客户进行直接的交流,这样可以获得实时的反应。一起,也可以将相关的信息和咱们美国的技能团队进行交流,一起也避免了一些在言语不通的情况下形成一些信息的过错,以及信息的推迟。经过这样的一个全球基建,以及本地化的客户支撑,可以协助咱们继续的坚持一流的、先进的产品以及解决方案的输出。”