MEMS全称为微型电子机械体系（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技能（半导体制造技能）基础上发展起来，交融了微电子加工工艺和精密机械加工等技能制造的微米级电子机械器材，触及微电子、机械、资料、力学、化学、生物学等许多学科范畴。
MEMS被广泛用于传感器范畴，常见的产品包含MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度计以及它们的集成产品，广泛使用于消费电子、轿车、医疗、工业、通讯、国防和航空航天等范畴。
MEMS传感器在结构上主要由微型传感器、微电子控制器、执行器和电源组成。
咱们日常触摸最多的消费电子产品中，MEMS传感器正被广泛的使用。一个智能手机中的MEMS传感器就有声学、光学、环境、运动、通讯、安全和交互等，这些传感器使得电子设备更具互动性和智能化。
