微机电体系（MEMS）是飞思卡尔运用于加速度和压力传感器的技能。根据MEMS的传感器产品有一个接口，经过该接口能够感应、处理和/或操控周围环境。
飞思卡尔根据MEMS的这一类传感器器材将十分小的机电组件集成在单个芯片上。根据MEMS的传感器是轿车电子、医疗设备、硬盘驱动器、计算机外设、无线设备及手机、PDA等智能便携式电子设备的重要组件。
MEMS的长处：低成本、低功耗、小型化、高功能、集成
飞思卡尔的领先地位
近30年来，飞思卡尔半导体不断开发各种根据MEMS的传感器。用于出产传感器的工艺技能大体上分为两类：立体微加工和外表微加工。咱们公司出产加速度传感器和压力传感器。飞思卡尔是大规模量产根据MEMS传感器的制造商。
运用
根据MEMS的传感器是轿车电子、医疗设备、手机、PDA等智能便携式电子器材，以及硬盘驱动器?、计算机外设和无线设备的重要组件。轿车工业已开端将这些传感器专用于安全气囊体系碰撞检测。从上世纪90年代到今日，选用MEMS技能的安全气囊传感器商场取得了极大的成功。现在，从喷墨打印机到手机，根据MEMS的传感器已广泛运用于各种设备。现在，各首要商场都在选用这一技能。
HARMEMS技能
飞思卡尔新一代高宽比微机电体系（HARMEMS）技能是合适安全气囊传感运用的老练技能。加速度传感器选用先进的传感规划，改善传感器的偏移功能。HARMEMS技能具有过阻尼机械响应和超卓的信噪比，可满意客户的要求。因为安全气囊主ECU体系安装在轿车驾驶室中，过阻尼HARMEMS技能对高频、高振幅寄生振荡?具有耐受才能。HARMEMS技能已引进到电子安稳操控体系（ESC）中选用的双轴加速度传感器中，以丈量轿车横向加速度。
MEMS外表微加工
在外表微加工过程中，MEMS传感器选用堆积薄膜资料在晶圆外表上成形。这些堆积资料包括传感器成形过程中运用的结构资料和界定结构层之间的空隙所用的衬层资料。许多外表微加工传感器选用电容转换法，将输入机械信号转换为等效电子信号。经过电容转换法，传感器可视为一个机械式电容，其间一个平板在物理驱动力效果下发生移动。这种移动会改动两个电极之间的空隙，电容随之改变。电容的这种改变是与输入的机械动力等效的电子量。
MEMS体型微加工
体型微加工过程中，单晶硅经过蚀刻构成三维的MEMS器材。这是一种腐蚀式工艺，选用各向异性化学腐蚀办法去除晶圆中的硅。这种体型微加工办法可用来大规模量产各种传感器，如压阻式压力传感器。最简略的加工办法是有挑选地蚀刻特定部分的硅片，让这些区域只剩下一层隔阂。在肯定压力传感器中，硅晶圆与另一晶圆结合（芯片或硅玻璃），在隔阂下构成一个真空密封腔。隔阂在压力效果下发生曲折。压敏电阻效应是广泛选用的一种能量转换机制。在压敏电阻资猜中，应力的改变发生张力，然后引起电阻发生相应的改变。当在隔阂最大应力点上植入压敏电阻时，压力效果下发生的变形引起电阻改变。一般情况下，可将压敏电阻组成桥接网络，两个端子之间运用的电压发生的输出电压可在别的两个端子?之间进行丈量。
