陶瓷湿度传感器由金属氧化物陶瓷构成，分离子型和电子型两类。
离子型湿敏元件是由绝缘材料制成的多孔陶瓷元件。因为水分子在微孔中的物理吸附效果，在湿空气中出现H+，使元件的电导率添加，主要成分分两种 α-Fe2O3及K2CO3和ZnO.V2O5.LI2O。
陶瓷湿度传感器在低湿段电阻随湿度阻值改动较大，在40%-80%RH范围内，线性度比较好，高湿段则改动过小，可见陶瓷湿度传感器在常湿状态下具有较好的特性曲线，而在高湿段，低湿段曲线发作畸变，非线性比较显着。陶瓷湿敏元件德感湿特性还遭到温度改动的影响，温度补偿对丈量精度是重要的。
电子型湿度传感器主要有氧化铝、一氧化镁组成陶瓷湿度传感器元件电导率的添加和削减，运用分子在氧化物表面上的化学吸附效果而成，N型半导体，P型半导体氧化物反应出正湿度特性和负湿度特性。
氧化铝和一氧化镁湿度传感器，在700℃以下温度下能够进行湿度丈量而比较稳定。但结构杂乱，需求加热光栅加热至700℃，耗电大运用条件严苛，价格昂贵，还要避免空气流速变化所引的特性改动，不易在工业范畴遍及运用。
陶瓷湿度传感器是近年来大力发展的一种新式传感器。长处在于湿度滞后，呼应速度快，体积小，便于批量生产，但因为多孔型原料，对尘土影响很大，日常保护频频，经常需求电加热加以清洗易影响产品质量，易受湿度影响，在低湿高温环境下线性度差，特别是运用寿命短，长时间可靠性差，是此类湿度传感器火急处理的问题。
