作者：贝能世界有限公司 耿天祥
要害词：
导言：
跟着电子技能及MEMS技能的开展，咱们身边越来越多的充满着各式各样的传感器，如温度、湿度、压力、光学、磁性等，他们在咱们日子中扮演着如耳朵、眼睛等十分重要的人物，今日咱们的要点则是关于压力传感器方面的使用，压力传感器现在在工业自动化、石油化工、航空航天、电力、医疗、汽车尾气检测等职业使用十分广泛、而充油芯体则是压力传感器中十分重要的组成部分，现在充油芯体中心基本以分散硅式规划为主，规划上更为快捷使用上更为便利，本文将介绍根据SMI公司的SM95系列微压压阻式硅传感器在压力芯体上的使用。
压力变送器及压力芯体的结构及原理简介：
压力芯体在压力丈量中充当了压力信号的初值反应，终究压力信号经过校准、调度等将信号给到压力变送器中，当压力作用在丈量膜片的外表时，膜片发生细小的形变，丈量膜片上的高精度电路将这个细小的形变改换成为与压力成正比的高度线性并与鼓励电压也成正比的电压信号，然后将该信号给出，到达压力丈量的作用，压力变送器一般由压力充油芯体、调制电路、连接器、装置口、外壳等组成。其间压力充油芯体最为重要，它决议了压力变送器的精度、稳定性等要害性能指标，其间图一及图二别离展现了一般压力变送器的结构图及充油芯体图，从变送器结构图中咱们也能够清楚的看到变送器丈量端压力充油芯体的方位。
图一
图二
压力芯体是制作压力传感器及变送器的中心部件，作为一种高性能的灵敏器材能够很便利的进行信号扩大处理，安装成规范信号输出到变送器，将压力灵敏器材即压力MEMS芯片(DIE)封装到必定资料的基座中，外加压力经过不锈钢膜片、内部密封然后充油，经过硅油传递到MEMS芯片上，MEMS芯片不直接触摸被测介质，构成压力丈量的全固态结构，所以适用于各种环境、包含恶劣的腐蚀介质环境，MEMS芯片外加氟橡胶圈进行压力牢靠密封安装，然后将MEMS芯片丈量值经过电压信号传输出去，图二外形图展现了压力芯体的结构，具有牢靠性高、抗腐蚀、使用广泛等特色。
SM95D/G系列微压MEMS芯片介绍：
SM95系列是一款硅型微压电阻式压力传感芯片，其满量程为0.15 到1.5PSI(1到 10
kPa)，特别适用于OEM和高容量使用，以DIE方法供给，可作为OEM体系的一部分贴装在陶瓷基板或PCB基板上。此外还能够封装到专有系列传感器或特定使用系列传感器中，其结构如图三，以表压及差压方法供给，具有2*2mm封装，合适用于微压充油芯体范畴。
图三
SM95系列选用压阻式压力丈量，为全桥式丈量方法，如图四，其内部等效方法如图五，这种方法因为选用差分信号核算，有用的避免了压力随温度改变的影响，在压力丈量上愈加精确，一起选用topside
micromachined工艺技能，有用的降低了生产成本，SM95系列的要害参数如图六，其过载压力到达8倍，爆炸压力到达10倍，处于职业领先地位。
图四
