进行布线和夹具设计时，考虑体系安全性也很重要。为了确认操作人员以及仪器会遇到什么风险，要对各种毛病状况进行考虑，包括因操作人员失误以及因器材状况改变而带来的毛病。
大电流测验的潜在风险之一是火灾或或烧伤风险。在大电流测验期间，要使待测器材处于封闭状况，这样，即便器材呈现毛病，也能够运用户免遭火灾或飞溅物体的损伤。
触电风险是高压测验的潜在风险之一。假如仪器(或器材)能够输出42V以上的直流电压，那么随时都存在触电风险。正确的测验体系装备有必要包括维护操作人员和未受练习用户免遭触电风险的设备。
上电后，用户应当无法接入内部有高压的体系。安全互锁是约束接入的一种设备。吉时利的一切现代源丈量单元(SMU)都包括互锁设备，因而，只有当互锁线路作业时，才会发动大功率。互锁旨在与每个体系接入点的常开开关一同运用。当运用多个具有触电风险的仪器时，要将这些仪器衔接在一同，这样，假如体系接入点敞开，一切仪器的输出都被禁用。当遇到多个接入点时，每个接入点都需求独自的开关，并且一切这些开关都应当串联。详细阐明参见图1。
一切仪器的5V电源都是组合的，从外部经过开关衔接，并用于发动互锁。当运用多个源丈量单元(SMU)的5V电源时，能够运用肖特基二极管，以避免每个源丈量单元(SMU)的5V电源彼尔后驱动。肖特基二极管是首选，由于它们具有较低的正向电压;因而，它们不太或许影响发动互锁线路所需的电压。
依据测验设置中源丈量单元(SMU)的数量，一个源丈量单元(SMU)的5V电源或许驱动体系中另一个源丈量单元(SMU)的互锁线路。为此，要核对仪器目标中的安全互锁引脚，以确认驱动每个源丈量单元(SMU)互锁引脚所需的电流巨细。此外，还要核对5V电源引脚目标，以确认其电流容量。作为挑选，能够运用外部电源来驱动源丈量单元(SMU)的互锁线路。
图 1 一个具有多个接入点的体系衔接多个源丈量单元(SMU)时的装备
除了操作人员的安全，维护体系测验仪器安全也很重要。要仔细考虑器材毛病的或许影响。图2给出N-沟道FET在漏极-源极击穿电压邻近进行封闭状况漏电流测验的常见装备。在门极点电压较低的源丈量单元(SMU)，确保器材处于封闭状况。在源极点电压较低的源丈量单元(SMU)将对源端电流进行直接丈量。不过，假如在漏极-源极之间呈现意外击穿，那么3kV的源丈量单元(SMU)有或许损坏200V的源丈量单元(SMU)。在门极和漏极之间也存在着相同的受损或许。
图 2 在器材击穿或毛病状况下，2657A型源丈量单元(SMU)有或许损坏任何一个2636A型源丈量单元(SMU)
为了在器材击穿或器材毛病状况下维护耐压较低的源丈量单元(SMU)，能够运用过压维护器材。在正常状况下，过压维护器材应当不会给测验电路带来什么影响，但遇到过压状况时，将对电压进行嵌位。吉时利2657A-PM-200型200V维护模块，能够用于包括2657A型以及电压较低源丈量单元(SMU)的测验体系。在过压状况下，该维护模块将在微秒之内将外部高压源嵌位在2V左右。在非嵌位状况下，在较低电压的源丈量单元(SMU)中将坚持皮安级电流源和丈量才干。[1]
当器材毛病致使仪器遭受大电流时，也或许形成仪器损坏。要确保一切接入端的仪器都能够处置器材端口正常呈现的电流。为了约束器材毛病导致较大电流而带来的仪器损坏，要运用串联电阻器约束经过恣意仪器的最大电流。在击穿电压或漏电流特性剖析期间，用户有必要当心约束经过器材的电流巨细，这样，才干确保测验不是破坏性的。尽管源丈量单元(SMU)具有设定的电流约束，但在对负载改变做出呼应时，这些自动约束会消耗必定的时刻(所谓的“瞬态呼应时刻”)。当负载阻抗改变十分敏捷时，或许呈现超出设定约束的电流。增加串联电阻，能够迫使该端口在瞬态条件下也能坚持最大电流的平稳。
要确保挑选满意测验体系最大电流、最大电压和最大功率额定值的电阻器。这种电阻器一般将起到两个效果。在晶体管敞开状况特性剖析期间，一般以与门极串联的方法增加电阻，从而使高增益器材中常见的门极电压振铃和振荡到达最小。此外，在晶体管封闭状况特性剖析中，一般使用电阻器来约束击穿期间流过的最大电流，避免过早的器材毛病。
