压阻式压力传感器使用单晶硅的压阻效应而构成,又称分散硅压力传感器。压阻式传感器广泛地使用航天、航空、帆海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气候、地质、地震丈量等各个领域。
压阻式压力传感器选用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上使用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向分散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
当压力发生改动时,单晶硅发生应变,使直接分散在上面的应变电阻发生与被测压力成份额的改动,再由桥式电路取得相应的电压输出信号。
压阻式压力传感器具有精度高、作业牢靠、频率响应高、迟滞小、尺度小、重量轻、结构简略、便于完成显现数字化等特色,并且能够丈量压力,稍加改动,还能够丈量差压、高度、速度、加速度等参数。
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