mems传感器原理
MEMS传感器即微机电体系（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技能基础上开展起来的多学科穿插的前沿研讨范畴。经过四十多年的开展，已成为国际注目的严重科技范畴之一。它触及电子、机械、资料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技能，具有宽广的运用远景。截止到2010年，全国际有大约600余家单位从事MEMS的研发和出产作业，已研发出包含微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显现器在内的几百种产品，其间MEMS传感器占相当大的份额。MEMS传感器是选用微电子和微机械加工技能制作出来的新式传感器。与传统的传感器比较，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化出产、易于集成和完结智能化的特色。一同，在微米量级的特征尺度使得它能够完结某些传统机械传感器所不能完结的功用。
mems传感器运用
1、运用于医疗
MEMS传感器运用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技能性很强的作业，由于胎儿心率很快，在每分钟l20——160次之间，用传统的听诊器乃至只要扩大效果的超声多普勒仪，用人工计数很难丈量准确。而具有数字显现功用的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少量大医院运用，在中、小型医院及广阔的农村地区无法遍及。此外，超声振荡波效果于胎儿，会对胎儿发生很大的晦气效果。虽然检测剂量很低，也归于有损勘探范畴，不适于经常性、重复性的查看及家庭运用。
2、运用在轿车电子
MEMS压力传感器首要运用在丈量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作资料，以选用MEMS技能在资料中心制作成力敏膜片，然后在膜片上分散杂质构成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方法将应变电阻连接成电路，来取得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的方法。而MEMS加速度计的原理是根据牛顿的经典力学规律，一般由悬挂体系和检测质量组成，经过微硅质量块的偏移完结对加速度的检测，首要用于轿车安全气囊体系、防滑体系、轿车导航体系和防盗体系等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、地道电流型、谐振式和热电偶式等方法。其间，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特色，是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器，首要用于轿车导航的GPS信号补偿和轿车底盘操控体系，首要有振荡式、转子式等几种。运用最多的归于振荡陀螺仪，它使用单晶硅或多晶硅的振荡质量块在被基座带动旋转时发生的哥氏效应来感测角速度。例如轿车在转弯时，体系经过陀螺仪丈量角速度来指示方向盘的滚动是否到位，自动在内侧或许外侧车轮上加上恰当的制动以防止轿车脱离车道，一般，它与低加速度计一同构成自动操控体系。
3、运用于运动追寻体系
在运发动的日常练习中，MEMS传感器能够用来进行3D人体运动丈量，对每一个动作进行记载，教练们对成果剖析，重复比较，以便进步运发动的成果。跟着MEMS技能的进一步开展，MEMS传感器的价格也会跟着下降，这在群众健身房中也能够广泛运用。
在滑雪方面，3D运动追寻中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS能够让运用者取得极准确的调查才能，除了可提供滑雪板的移动数据外，还能够记载运用者的方位和间隔。在冲浪方面也是如此，安装在冲浪板上的3D运动追寻，能够记载波浪高度、速度、冲浪时刻、浆板间隔、水温以及耗费的热量等信息。
4、运用在手机摄影范畴
在MEMS Drive呈现之前，手机摄像头首要由音圈马达移动镜头组的方法完结防抖（简称镜头防抖技能），遭到很大的限制。而另一个在市场上较高端的防抖技能：多轴防抖，则是使用移动图画传感器（Image Sensor）补偿颤动，但由于这个技能体积巨大、耗电量超出手机载荷，一向无法在手机上运用。
凭着微机电在体积和功耗上的打破，最新技能MEMS Drive相似一张贴在图画传感器反面的平面马达，带动图画传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技能是透过陀螺仪感知摄影过程中的瞬间颤动，依托精细算法，计算出马达应做的移动起伏并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完，你得到的图画才不会由于颤动含糊掉。
手机摄影带给咱们随时随地的快捷，可是面临杂乱的环境、多样的摄影场景，人手摄影有无法防止的颤动，像是走着跑着躺着摄影，或许把手伸长、手握自拍杆自拍，不管哪种颤动，凭仗MEMS DRIVE马达独有的五轴防抖，和快速、精准操控的技能优势，都能呈现出更明晰更锐丽的图片。
