了解我国微电子科技范畴状况的人们或许都知道，在该范畴有鼎足之势一说，说的是黄昆、谢希德、王守武三位在解放初期从国外归来的博士、中科院学部委员。
黄昆、谢希德两位分别在晶格动力学散射理论和外表态物理方面卓有创立，而王守武则主攻半导体器材物理，偏重于运用。现在，这三位出色科学家中的前两位现已作古，仅有健在的只要王守武先生。相对于黄、谢两位，王守武的闻名度稍逊些，这或许与他一向在科研和工业化一线从事实际作业有关。
本年是王老推进我国首个砷化镓激光器研制成功的第50个年头，也是他作为榜首批海归博士回国作业的第63个年头。上世纪80年代中期，王老在上海推进集成电路工业化作业期间，笔者有幸参加招待，因而有机遇结识这位享誉业界的科学家。今后，我还有几回机遇见到他，最近一次是去年在美国他女儿家。其时，他思想明晰、记忆力强、声响宏亮，便是耳朵有些重听。虽然已是94岁高龄，但王老一向牵挂着祖国超大规划集成电路工业出产状况。
从那时起，笔者就很想把自己所了解的有关王守武院士的业绩写出来，让更多人知道，在我国半导体科技和集成电路工业范畴，有这样一位开辟者。
身世望族的“海归”
王守武1919年出生于姑苏的名门望族。父亲王季同(1876~1948)是留英学者，1927年随蔡元培先生准备中心研讨院，在数学和机电方面有很深的造就。王守武4岁随父来上海，少年时期根本在姑苏、上海两地日子读书。
高中结业前夕，因疟疾重犯，耽误了校园的年末考试和姑苏全区的结业会考，只拿到肄业证书的他无法入读清华、燕京等名校，只得遵从曾留学德国的大哥的主张，进上海同济大学德文补习班学习。一年后，他重回姑苏中学参加会考，拿到了高中文凭，才正式成为同济大学机电系的学生。
1941年结业后，王守武曾到工厂时刻短作业几年，之后转到同济大学任教。1945年抗战成功，神往“科学救国”的王守武于当年10月入美国印第安纳州普渡大学研讨生院攻读工程力学，翌年6月，获硕士学位。因各门功课成果优异，校方赞助他攻读博士学位。此刻，正在鼓起的量子力学引起王守武的爱好，他便从工程力学转向微观粒子运动规则的研讨，并于两年后取得博士学位后留校从教。
1949年新我国建立，特别是1950年朝鲜战争迸发后，身在美国的王守武归国心切。他以看望垂暮多病的寡母为由，捉住机遇，携同在美国留学的夫人葛修怀女士(上海籍)，怀有不满周岁的女儿，于1950年回到祖国。由此，王守武开端了为国效能的生计。
从零开端的突击
1956年在周恩来总理亲身领导下，我国制订了十二年科技展开远景规划，半导体技能被列为其时四大科研要点之一。中心有关部门决议，由黄昆、谢希德和王守武等闻名学者在人才培养和开辟性研讨方面进行突击。
王守武在美国学的首要仍是偏物理自身的内容，但他深知半导体作业的重要性，决然中止其他科研项目，全身心投入半导体研讨，在中科院运用物理所组建了国内榜首个半导体研讨室，首先抓的是晶体管中最根本的资料——锗的制取。
他一面抓锗资料的提纯，一面亲身领导规划制作了我国榜首台拉制半导体锗资料的单晶炉，并于1957年末拉制成功了我国榜首根锗单晶。同年11月底到次年头，王守武与搭档协作，研制成功了我国榜首批锗合金结晶体管，并把握了锗单晶中的掺杂技能，能操控锗单晶的导电类型、电阻率及少量载流子寿数等电学目标，到达了器材出产的要求。
1957年，林兰英博士回国，王守武亲身去她住的宾馆，成功将她发动到半导体作业组，就任资料研讨组组长，详细施行硅单晶的拉制。在王守武、林兰英和课题组的共同努力下，我国榜首根硅单晶于1958年7月面世。
为了促进我国第二代(晶体管型)电子计算机的研讨，在王守武等的安排领导下，1958年，我国最早的一家出产晶体管的工厂我国科学院109厂创立，从事锗高频晶体管的批量出产。在人员和设备都较短缺的状况下，全厂人员奋战到1959年末，为研制109乙型计算机供给了12个种类、14.5万多只锗晶体管，完结了该机所需的器材出产。在我国科技展开史上，在两年内，一项产品、尤其是顶级科研范畴的产品能完结从零开端、完结从研制到出产的整个进程，实属稀有。
上世纪50年代末和60年代初，受国家科委和中科院的托付，王守武开端筹建中科院半导体所。1960年9月，该所建立，王守武被录用为首任副所长，全面担任科研事务办理和分支学科开辟的准备。今后，在检测设备、统一标准，特别在我国首个砷化镓激光器研讨方面，他做了很多作业，还建立了半导体测验中心。
再次授命担重担
文革中，王守武遭受不公正待遇，备受污蔑和诋毁，但他仍运用机遇阅览文献，紧盯世界上迅猛展开的集成电路技能。
文革后期，周总理要中科院注重根底理论研讨，王守武当即捉住这一机遇，对耿氏器材中的雪崩驰豫振动作了深化探讨，相关论文在1975年美国物理学会年会上宣读，遭到国外同行好评。当年的《我国科学》杂志宣布了这篇论文。
1978年10月，中科院首要领导请王先生出马，要他全面担任4千位MOS随机存储器的研讨作业。这是一种大规划集成电路，要在不到4×4毫米见方的单元硅片上，通过40多道工序，制作出由1.1万多个晶体管、电阻、电容等元件构成的电子电路。假如单项工艺的完好率到达95%，芯片的终究工艺完好率也只要13%。要制作出样品，并有必定的成品率，谈何容易。
王守武从安稳工艺下手，跟着片子的流程，对工艺线的每道工序进行仔细详尽的查看，要求各工序的担任人，翔实地定出各自的操作规程。定好后就严格执行，未经工艺担任人容许，不许随意更改。
1980年，刚刚过完新年，上级要王守武去我国科学院109工厂兼任厂长职务，展开4K大规划集成电路的推行作业，从事进步成品率、降低本钱的集成电路出产实验。
其时，世界上微处理器迅速展开，电脑行将面向社会，进入家庭已成趋势，大规划集成电路出产及配套设备、根底资料研制作业，由此成为燃眉之急。1983年，年逾花甲的王守武再一次授命，出任国务院电子复兴领导小组集成电路参谋组组长、国家科委半导体专业组组长，挑起了全国大规划集成电路会战领军者的重担。
院士当厂长
回忆王守武的阅历和奉献，有一个单位和职务不得不提，那便是我国榜首家半导体器材厂——中科院109厂(中科院微电子所的前身)。
一切介绍王守武的文字中都会有这样的表述：1958年，他亲身创立我国科学院109厂，完结了锗高频晶体管的批量出产。1980年至1986年兼任我国科学院109厂厂长。
院士为何容许任厂长?对此，原中科院109厂党委书记张钟达和原109厂总工办主任马文杰曾撰文介绍：
1980年代初中期，王守武回到他20多年前兴办的109厂就任的直接原因，是确保科研成果顺畅转化为出产计划，确保已获国家同意的109厂现代化引进线的建造更先进、更科学、更能起演示样板的效果;而更深层次的考虑，是他对世界集成电路工业的展开趋势、以及我国集成电路工业其时的现状进行剖析后以为，我国集成电路工业只要把手作业坊式的出产方式转变成现代工业化的出产方式才有出路。要进行工业化的集成电路出产，出产线就有必要是条件安稳、设备安稳、操作安稳、工艺安稳、施行科学办理的受控出产线。也便是说，王先生是怀着对国家集成电路作业的高度责任感来进行一项全新的探究。
张钟达和马文杰举了一个比如，工业化出产要求高纯度，有必要实施管道化运送，为确保气体质量，王先生要求数十米长的气体运送管道要能抽真空，并且真空度要坚持24小时不发生改变。可管路上运用的气体表简直个个都有微漏气，达不到这个要求。怎么办?他就让我们将零件一个个拆开，剖析每个零件的效果，查找漏气的原因，对症下药进行改造。终究，问题处理了。
执着的“八级钳工”
王守武常识广博，作业谨慎详尽，什么事都要搞清所以然，仔细到简直执着的程度。
对根底辅助资料、超纯水(纯度达99.99999%以上)、MOS级化学试剂，他都一丝不苟地进行剖析、测验;对规划地图，他重复比照、修正、优选。为进步集成电路成品率，他要求每一道工序成品率要在95%以上，要害工序完好率要达99%以上。
他身教重于言教，样样作业都是从自己做起。所用设备、仪器、外表，一台台、一件件仔细检修检测，并加以必要改造和改造。光刻机有渗油、蒸腾台铝的厚度和致密度功用不稳、椭圆偏振测厚仪常常有小毛病……都是他蹲在现场，乃至趴在地上查原因，换配件，逐个处理。
有一台长时刻被弃之一旁的国产切片机，老线上还需要用，修理的技能人员修了好几回便是修欠好。王守武亲身动手，剖析机器的机械动作原理、各部分操控电路的功用效果、或许呈现的问题等，和我们一同评论，鼓舞我们必定要把它修好。六十多岁的他，有几回都是和我们一同，在地上一蹲便是几个小时，总算找出了问题所在，修好了电路，从头加工更换了丝杆，使这台老设备重又勃发芳华。
这样的案例不乏其人。以至于王守武内行业界享有“八级钳工科学家”的雅号。
用了一年时刻，他把256位MOS随机存储器最高批量成品率进步到了其时国内史无前例的水平，最高一批达40%。其时在亚洲地区，这仅次于日本。
难忘“上海缘”
其时，上海是全国集成电路工业的首要基地，承当全国80%集成电路的出产。由于安排领导大规划集成电路研制和工业化方面的作业，王守武那段时刻常来上海。笔者其时正在上海市大规划集成电路会战组作业，所以触摸他机遇较多,形象最深的是他日夜奋战，从不计较作业时刻，总是毫无保留地尽自己所知、所能协助年轻人。哪里最困难，问题最多，哪里就有他的身影。
21世纪初，已80多岁的王老先生两次来沪，关怀了解上海超大规划集成电路出产成品率、本钱、质量、配套才能，还深化到浦东张江“中芯世界”工厂的榜首线问这问那，到“贝岭”、“先进”、“新科”等集成电路企业了解状况。
当年在上海和他一同参加过大规划集成电路工业会战的科技人员，至今仍十分怀念在王先生领导下，为国家大规划集成电路工业展开日夜奋斗的那段难忘年月。
