确认了电流偏移、漏流及一切不安稳性后，采纳办法减小丈量差错将有助于进步丈量准确度。这些差错源包括树立时刻缺乏、静电搅扰、漏泄电流、冲突效应、压电效应、污染、湿度、接地环路，以及源阻抗。图5中汇总了本节评论的部分电流的幅值。
图5.发生电流的典型幅值
树立时刻和守时菜单设置
丈量电路的树立时刻在丈量小电流和高电阻时特别重要。树立时刻是指施加或改动电流或电压后丈量到达安稳的时刻。影响丈量电路树立时刻的要素包括并联电容(CSHUNT)和源电阻(RS)。并联电容是因为衔接电缆、测验夹具、开关和探针形成的。DUT的源电阻越高，树立时刻越长。图6的丈量电路中标出了并联%&&&&&%和源电阻。
图6.包括CSHUNT和RS的SMU丈量电路
树立时刻是RC时刻常数τ的成果，其间：
τ = RSCSHUNT
以下为核算树立时刻的一个比如，假定CSHUNT= 10pF，RS= 1TΩ，那么：
τ = 10pF × 1TΩ = 10s
因而，读数安稳至最终值的1%所需的树立时刻为τ的5倍，也便是50秒。图7所示为RC电路的阶跃电压指数呼应。经过一个时刻常数(τ = RC)后，电压上升至最终值的63%。
图7. RC电路的阶跃电压指数呼应
为了成功丈量小电流，重要的是每次丈量留有满足的时刻，特别是扫描电压时。关于扫描形式，可在“ Sweep Delay”(扫描推迟)域的“Timing”(守时)菜单中添加树立时刻；关于采样形式，则在“Interval time”域内。为了确认需求添加多长间隔时刻，经过制作电流-时刻图，丈量DUT安稳至某个阶跃电压的树立时刻。阶跃电压应该是DUT实践丈量中运用的偏执电压。可利用LowCurrent项目中的ITM丈量树立时刻。应适当添加“Timing”(守时)菜单中的“#Samples”，以保证安稳后的读数显现在图形中。在丈量小电流时，选用“Quiet Speed Mode”或在“Timing”菜单中添加额定滤波。请注意，这是噪声和速度之间的平衡。滤波和推迟越大，噪声越小，可是丈量速度也越小。
