传感器-压阻传感
压阻式传感器是用集成电路工艺技能,在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻,并组成电桥电路。当不受力作用时,电桥处于平衡状况,无电压输出;当遭到力作用时,电桥失去平衡,输出与应力成正比的电压。压阻式传感器的作业原理与传统的半导体应变式传感器的作业原理相同,都是根据半导体资料的压阻效应。
压阻系数
半导体电阻的相对改变近似等于电阻率的相对改变,而电阻率的相对改变与应力成正比,二者的份额系数界说为
固态压阻式传感器压阻系数。由下式可得:
传感器
影响压阻系数的要素
影响压阻系数的要素主要是分散电阻的外表杂质浓度和温度。
固态压阻器材
使用固体分散技能,将P型杂质分散到一片N型硅底层上,构成一层极薄的导电P型层,
装上引线接点后,即构成分散型半导体应变片。若在圆形硅膜片上分散出四个P型电阻,构成惠斯登电桥的四个臂,这样的灵敏器材一般称为固态压阻器材。
丈量电路
压阻式传感器的输出信号一般较小,需要用电路进行扩大。