电子能谱仪的首要结构部分

电子能谱仪一般由激起源（X射线枪和电子枪）、离子枪、样品室、电子能量剖析器、检测器和真空体系组成。XPS的激起源为X射线枪，AES的激起源为电子枪，除此之外其它部分相同。
样品室
样品室可一起放置几个样品，既能够对样品进行多种剖析，又能够对样品进行加热、冷却、蒸镀和刻腐等。而且，依托真空闭锁设备，能够使得在换样过程中对真空损坏不大。
X射线枪
X射线枪是X光电子能谱仪（XPS）的激起源。XPS用X射线枪的靶极资料为镁和铝，发生的MgKα和AlKα射线，经晶体分光后照耀样品，激起发生光电子。MgKα能量为1253.6ev，AlKα能量为1486.6eV，分光后的谱线宽度为0.2-0.3eV。
电子枪
电子枪是俄歇电子能谱仪（AES）的激起源。由阴极发生的电子束经聚集后成为很小的电子束斑打在样品上，激起发生俄歇电子。电子枪又分为固定式和扫描式两种，扫描式电子枪的电子束在偏转电极操控下能够在样品上扫描，电子束斑直径大约5μm，这种电子能谱仪又名俄歇探针，运用俄歇探针能够进行固体外表元素剖析。
检测器
电子能谱仪的检测器多运用单通道电子倍增器，由于串级磕碰效果，电子打到倍增器后能够有106-108的增益，在倍增器结尾输出很强的脉冲，脉冲扩大后经多道剖析器和计算机处理并显现。
真空体系
电子能谱仪需求超高真空。由于，电子能谱仪是一种外表剖析仪器，假如真空度没有足够高，清洁的样品外表会很快被剩余气体分子所掩盖，这样就不能得到正确的剖析成果；别的，广州市骏凯电子科技有限公司光电子信号一般很弱，光电子能量也很低，过多的剩余气体分子与光电子磕碰，或许使得光电子得不到检测。因而，电子能谱仪要求10-7-10-8pa的真空度，为了到达这么高的真空度，电子能谱仪的真空体系由机械泵、分子涡轮泵、离子溅射泵和钛提高泵组成。