位移丈量是线位移丈量和角位移丈量的总称，位移丈量在机电一体化制作体系中使用非常广泛。一般位移传感器主要有：电感传感器、电容传感器、感应同步器、光栅传感器、磁栅传感器、旋转变压器和光电编码盘等。其间，旋转变压器和光电编码盘只能测验角位移，其它几种传感器既有直线型位移传感器又有视点型位移传感器。
光栅位移传感器
光栅是一种新式的位移检测元件，是一种将机械位移或模拟量转变为数字脉冲的丈量设备。它的特点是丈量精确度高（可达±1μm）、呼应速度快、量程规模大、可进行非触摸丈量等。其易于完成数字丈量和自动控制，广泛用于数控机床和精细丈量中。
光栅的结构
所谓光栅就是在通明的玻璃板上，均匀地刻出许多明暗相间的条纹，或在金属镜面上均匀地划出许多间隔持平的条纹，一般线条的空隙和宽度是持平的。以透光的玻璃为载体的称为透射光栅，不透光的金属为载体的称为反射光栅；依据光栅的外形可分为直线光栅和圆光栅。
光栅位移传感器的结构如图所示。它主要由标尺光栅、指示光栅、光电器材和光源等组成。一般，标尺光栅和被测物体相连，随被测物体的直线位移而发生位移。一般标尺光栅和指示光栅的刻线密度是相同的，而刻线之间的间隔W称为栅距。光栅条纹密度一般为每毫米25、50、100、250条等。
